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2011年2月

2011年2月25日 (金)

人材育成プログラム 第16回MEMS講習会開催される(2月22日)

 マイクロマシンセンターでは、MEMS産業の裾野を広げ、その発展を促進するために、人材育成の観点でMEMS講習会を開催しています。2月22日(火)名古屋大学において第16回MEMS講習会が「MEMSプロセス技術の最新動向とアプリケーション」をテーマに開催されました。

 今回は基調講演を名古屋大学 佐藤先生にお願いし「マイクロ・ナノ理工学の深化がMEMSの発展をささえる」という題で新技術の開発には科学的な現象の解明が重要であることを講演して頂きました。また最近のMEMS技術の大きなトレンドである集積化MEMSの動向を豊橋科学技術大学 石田先生に、今後大きな需要拡大が期待されるMEMS赤外線画像センサの動向を立命館大学 木股先生にそれぞれご講演して頂きました。開催地(愛知)の企業から主に自動車用MEMSの開発事例として(株)デンソー 竹内様より最新の自動車安全システムとそれに用いられるMEMSミラーの開発状況を紹介して頂きました。豊田中研 野々村様からは、自動車用MEMSデバイス開発の経緯と最新のMEMS角速度センサ、パッケージリーク検査方法の開発事例を紹介して頂きました。産総研集積マイクロシステムセンターの高橋様より現在つくばに展開しているTIA-NMEMS8インチラインの紹介を、ファンドリーサービス委員会のメンバー企業から、各企業が保有するプロセス技術、デバイス設計技術を紹介して頂きました。

 総参加人数は59名で、それぞれの講演に対して活発な質疑応答がなされ関心の高さが伺えました。また講演終了後は構内のレストランで懇親会が開催され、講演者を含めほとんどの方が参加されて積極的に交流を深めておられました。全体として大変盛況のうちにお終えることができて、講演者の皆様、参加して頂いた皆様にお礼を申し上げたいと思います。来年度もより魅力あるMEMS講習会を企画致しますので皆様のご参加をお待ちしております。

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2011年2月21日 (月)

第21回マイクロナノ先端技術交流会開催される

  マイクロマシンセンターでは、マイクロナノ分野において産学交流を図ることを目的として先端技術交流会を実施しています。2月17日(木)マイクロマシンセンター テクノサロンにおいて第21回マイクロナノ先端技術交流会が「MEMSエネルギーハーベスティング技術の最前線」をテーマに開催されました。

 今回はMEMSエネルギーハーベスティング技術で世界的に活躍されているお二人の先生を講師としてお迎え致しました。最初に東北大学 マイクロ・ナノマシニング研究教育センター長、ナノメカニクス専攻教授をされておられる桑野 博喜様より「MEMSエネルギーハーベスティング技術とその応用」という題目で講演して頂きました。MEMSエネルギーハーベスティングの応用分野として考えられるセンサコミュニケーションソサエティ構想に関するお話を先にして頂き、その後桑野先生の研究室で研究しておられるデバイスを紹介して頂きました。

 次に東京大学 機械工学専攻教授の鈴木 雄二様より「エネルギーハーベスティングのための高性能ポリマーエレクトレットを用いた振動型MEMS発電器の開発」という題目でご講演して頂きました。最初にMEMS振動型エネルギーハーベスティングの応用分野を、次に発電方式には圧電型、静電型、電磁型の3種があり、それぞれの方式の特徴を、最後に鈴木先生が研究しておられるポリマーエレクトレットタイプの優位点を説明して頂きました。

 総参加人数は30名で、それぞれの講演に対して活発な質疑応答がなされ関心の高さが伺えました。また講演終了後はマイクロマシンセンターで交流会が開催され、講演者を含め多くの方が参加されて交流を深めて頂きました。全体として大変盛況のうちにお終えることができて、講演者の皆様、参加して頂いた皆様にお礼を申し上げたいと思います。来年度もより魅力ある先端技術交流会を企画致しますので皆様のご参加をお待ちしております。

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2011年2月15日 (火)

TIA-NMEMS拠点の構築進む ~つくば産総研 新クリーンルームおよび最新MEMS設備のお披露目(2011年2月9日)~

 TIA-NMEMS拠点における「つくばR&Dプラットフォーム」の主要な構成要素として、産総研集積マイクロシステム研究センター(つくば東事業所)に導入された8インチを中心とする最新MEMS関連設備およびセンサーネットクリーンルームの見学会が、2011年2月9日、国際ワークショップ、GDMS2011と並行して開催されました。同じTIA-nano拠点の一つであるナノエレWGや茨城県、経産省、NEDOの皆さんなどが参加され、構築の進む、NMEMS拠点の最新状況について理解を深めていただきました。
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「つくばR&Dプラットフォーム」は、上記のような設備、その設備を最良の状態に立ち上げ、維持・管理する機能、およびそれらを活用して研究を遂行する知恵と経験を重ねた研究者などの研究力、で構成されます。そのベースの上で、企業や大学、産総研研究者などが集まり、様々な協業によって量産プロセスや新規デバイス、基盤技術などに関するイノベーションを創出することがNMEMS拠点の狙いであり、その仕組みとしてMEMS協議会ではマイクロナノオープンイノベーションセンター(MNOIC)を設置し、サポートする企業グループであるNMEMSアライアンスを組織化しようとしています。
 現在進行中の研究開発プロジェクトや今後予定される新規プロジェクトによって、増々、設備群が充実し、その成果が蓄積されていくことで、さらに魅力的なR&DプラットフォームとしてNMEMS拠点の価値を向上させることが期待されます。
 来年度5月にも再び見学会が企画される予定です。ご期待ください。(MNOIC検討会事務局)

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MEMS協議会メンバー 大いに交流する ~H22年度第2回MEMS協議会メンバー交流会(2011年2月8日)~

 MEMS協議会の諸活動の理解を深め、協議会メンバーの相互交流の場である今年度の第2回のMEMS協議会メンバー交流会が、平成23年2月8日午後5時から霞ヶ関の商工会館で開催されました。
 当日は、今年度の第2回MEMS協議会推進委員会とMEMS懇話会が、MEMS協議会推進委員会委員と行政側である経済産業省、新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)の出席によって開催され、引続いて平成22年度第2回MEMS協議会メンバー交流会が開催されました。
 メンバー交流会には、企業メンバーの方々の他、MEMS協議会推進委員、経済産業省製造産業局産業機械課及び産業技術環境局研究開発課、NEDOの関係の方々、MEMS協議会の海外アフィリエート機関の方々など、78名がご出席されました。
 MEMS協議会の作田会長(オムロン(株)代表取締役社長)から主催者挨拶、経済産業省製造産業局産業機械課の藤木課長から来賓ご挨拶を、その後、NEDOの鈴木理事から乾杯の音頭をいただいてから、参加者による交流が行なわれました。
 メンバー交流会では、TIA-NMEMS拠点の構築に関する状況や、BEANS(異分野融合型次世代デバイス製造技術開発プロジェクト)、Gデバイス@BEANS(センサーネットワークおよび低環境負荷製造プロセスの研究開発)などの現在取組中のプロジェクトや、今後取り組むべ研究開発など、今後のMEMS産業発展に向けた話題について、和やかなうちにも真剣な意見・情報交換が行なわれました。
 MEMS協議会企業メンバーの方々にとって、企業の枠を超えた交流はもちろんのこと、日頃機会が少ない経済産業省、NEDOの行政側の方々と膝を付き合わせた意見・情報交換を行なうことができ、参加者からは非常に有意義な交流会であったとのご好評をいただきました。
次回のMEMS協議会メンバー交流会は、平成23年5月下旬に開催の予定です。(MEMS協議会事務局)H222


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