« 2010年12月 | トップページ | 2011年2月 »

2011年1月

2011年1月20日 (木)

TIA-NMEMS拠点のHPサイトを全面リニューアル

 
 このたびTIA-NMEMS拠点に関するホームページサイトを大幅にリニューアルしました。拠点整備についてより一層情報発信を強化していきたいと思っております。 → TIA-NMEMS拠点 
 
 国際競争力を有するアプリケーションオリエンティッドな先端MEMSデバイスの開発を行い、産学連携によるオープンイノベーションの実現を目指し、つくばイノベーションアリーナ(TIA) 事業の一環としてTIA-NMEMS拠点の整備が着実に進んでいます。
 
 
 
 NMEMS拠点は、産総研集積マイクロシステム研究センター(UMEMSME)を基盤にして構築を進めています。UMEMSMEの研究リソースや最新8インチMEMSラインなどのつくばR&Dプラットフォームを整備するとともに、このプラットフォームを活用してイノベーションを実現する仕組みとしてマイクロナノオープンイノベーションセンター(MNOIC)を立ち上げ、さらに、MNOICをMyラボ、Myファブあるいは産学共同研究の場として利活用する企業グループ(NMEMSアライアンス)の組織化も進めることとしています。
 
 

| | コメント (0)

広報誌「マイクロナノ」2011年1月号 (No.74) を発行

 
 このたび広報誌「マイクロナノ」2011年1月号 (No.74) を発行しました。
掲載記事は以下の通り。
  
  

| | コメント (0) | トラックバック (0)

2011年1月14日 (金)

2010年MMC-MIF-BEANS十大ニュース決まる

 
 芳しいロウバイや梅の花が香る2011年の清々しい新春を迎えました。
本年もよろしくお願い申し上げます。
 
 昨今の我が国を取り巻く内外状況を見ると、日米安全保障のゆらぎに加えて近隣国との外交的難題の続出、若年層の就業難や財政赤字の肥大化等の問題を抱えつつも本格回復が進まない経済の停滞、衆参のねじれ国会の中でなかなか展望が見えない政治の混迷等々、依然として難問山積の状況が続いています。我が国はこれ以外にも世界的な地球環境問題や進行する少子高齢化問題など中長期的な大きな課題に直面しており、新たな「国家百年の計」の構築が強く望まれています。
 
 私ども財団法人マイクロマシンセンター、技術研究組合BEANS研究所は、今や産業のマメといわれ製造業の発展に不可欠な基幹デバイスとなっているMEMSの技術開発および産業化を積極的に推進しております。そしてこれらの活動を通じて、MEMS産業のみならず製造業全体の国際競争力の強化に資することを目指し、やがて我が国経済の力強い歩みの復活につながることを大いに期待しています。
 
 このような志をもって、私どもはBEANSやGデバイス@BEANSの技術開発を着々と進めており、また世界的なつくばNMEMS拠点づくりにも着手したところです。これ以外にも国際標準化活動、総合イベント・マイクロナノ開催なども従前から引き続いて実施しております。以下、昨年の十大ニュースを通じて私どもの活動状況をご賢察下さい。
  
(1) Gデバイス@BEANSプロジェクト発足

 H21年度補正予算としてNEDOプロジェクト「異分野融合型次世代デバイス製造技術開発事業(BEANSプロジェクト)」に新たに加えられた研究課題「高機能センサネットシステムと低環境負荷型プロセス開発」略してGデバイス(予算規模約33億円)が、2010年4月より1年間の短期集中課題として本格的にスタートしました。いわゆるMEMSセンサを用いたきめの細かいセンサネットワークシステムにより半導体やMEMSプロセス用クリーンルームのエネルギー削減、プロセスそのものの高効率化、低環境負荷化というグリーンイノベーションに向けた喫緊の取り組み課題をつくばイノベーションアリーナ(TIA)で、最先端8インチMEMSラインを実験場として導入し実施するものです。BEANSプロジェクトの成果の一部の実証としてセンサデバイスへの可能性の検討や8インチプロセスラインでの特性、形状評価などが取り組み内容に含まれています。技術研究組合BENS研究所に6社の企業と、開発拠点の中心である産業技術総合研究所、関西拠点としての立命館大学が新たに加わり、企業15社とマイクロマシンセンターを入れて合計18団体の組織となりました。
 現在、研究開発の大きな取り組みである最先端8インチMEMSラインはすでに完成し、8インチプロセス開発及び検証として、センサTEGの作り込みなどを精力的に実施しております。また、センサネットワークを配置してエネルギーの見える化システムを導入、さらに多数センサを配置することにより、きめの細かいセンシングとそれに応じた空調制御などを行うオンデマンド型システムにより、将来の集積MEMSセンサ端末による小型化・低価格化への見通しや課題抽出を検討実施中です。また、MEMS化する際の新センサデバイス原理の検討や、集積化におけるプロセス(接合、微細貫通配線、など)の低環境負荷化の検討などについても、本年度末終了での目標達成に向け鋭意研究開発を実施中です。
   
   
(2) BEANSプロジェクトの成果が着実に具体化

 平成20年7月から5か年計画で始まったBEANSプロジェクトは3年目が終了し、着実な成果が具体化しつつあります。
 7月に開催したマイクロナノ2010のBEANSコーナーではプロジェクト成果物を展示し、たくさんの観客が押し寄せ、通り抜けるのが大変な混雑でした。同時開催のBEANSセミナーでは各センターの進展状況を報告し、これも盛況でした。
 9月にはプロジェクトの受託先であるNEDO((独)新エネルギー・産業技術総合開発機構)による中間評価が行われました。発足から2年半にわたる事業活動や研究開発成果を研究評価委員に評価いただくものです。本プロジェクトの目的が、デバイス製造プロセス基盤技術の開発とそのプラットフォーム構築という新しい概念であることから、事業内容に加え研究開発マネジメントについて審査委員から活発な質問を受けました。プロジェクトのテーマでは、バイオ融合プロセス技術、有機材料融合プロセス技術、三次元ナノ構造形成プロセス技術、宇宙適用次元ナノ構造形成プロセス技術、マイクロナノ構造・大面積連続製造プロセス技術につきプレゼンし、高い評価を頂きました。
 プロジェクトの成果は学会等に積極的に発表していますが、プレスでも取り上げられています。体内埋め込み型連続血糖値センサ、細胞による匂いかぎ分けセンサは国内のテレビ・新聞・雑誌に加え、海外のメディアにも取り上げられました。最近では、肝細胞から胆管を作成する技術、太陽電池用シリコン薄膜技術、ナノ粒子をペプチドで張り付ける技術、導電性素材を塗布した糸による電気を通す布を織り上げる技術等が続々と新聞に報道されています。

 
     
(3) TIA-NMEMS拠点の実現に向けて本格検討が進む

 つくばイノベーションアリーナ(TIA)は、世界水準の先端ナノテク研究設備・人材が集積するつくばにおいて(独)産業技術総合研究所(産総研)、(独)物質・材料研究機構、筑波大学が中核となって世界的なナノテク研究拠点を形成することを目指すものです。そのために経済産業省と文部科学省が一体となって協力し、主要企業・大学との連携網を広げ、産学官に開かれた融合拠点としてナノテクの産業化と人材育成を一体的に推進しようとしています。
 その中にあって6つのコア研究領域の一つ、NMEMSに関しては、TIA-NMEMSワーキンググループとして、国内MEMS産業の国際競争力を強化するためにどのような拠点とすればいいか、検討しています。MEMS協議会では今年度「マイクロナノオープンイノベーションセンター(MNOIC)検討会」を設置して、全体会および幹事会を開催し、実際に国際競争力を強化したい産業側の意見集約を進めています。上述のTIA-NMEMSワーキンググループは、MNOIC検討会に学官の委員を加えた形で構成されており、2つの活動は実際上、重なっています。
 MEMS市場については、ゲーム機やデジタルカメラ、スマートフォンなど、コンシューマーエレクトロニクスへの応用が急拡大しており、コンパクト、低価格、大量供給が求められています。欧州のSTマイクロエレクトロニクス、米国のSiTimeやInvensenseなどが大きくシェアを伸ばした一方、国内のデバイス企業も最近になって巻き返しに出ています。そこでは国境を越えた協業が普通のことになっており、まさにオープンイノベーションが求められています。
 産総研 集積マイクロシステム研究センター(つくば東)には、8インチ対応製造装置や評価装置など最先端のMEMS関連設備が集積されつつあります。これらの研究インフラを継続的に活用し、オープンイノベーションを基本理念にして国内産業の国際競争力を強化するにはどのような機能、組織が必要で、それをどのような戦略の下、実現していくか、が上記検討会、ワーキンググループの基本命題です。低価格化に対応した量産技術の開発、いち早く市場ニーズに対応するための長期的な基盤技術や新規デバイスの共同開発、アプリケーション開拓を積極的に推進するためのファンドリー機能、産業規模の拡大を人材面で支える計画的な人材育成など、期待したい機能を、要員や資金面に関する課題も含め、解決するための検討が進められ、実現に向けて着実なステップを踏んでいます。
 
    
(4) MEMS分野を対象にした全国的・自立的人材育成事業 「マイクロナノイノベータ人材育成プログラム」がスタート

 マイクロナノ分野を対象にした全国規模の人材育成プログラム、「マイクロナノイノベータ人材育成プログラム」がH22年度から推進されています。このプログラムは、H21年度までの3年間、産総研を中心にして実施された「産学連携製造中核人材育成事業」を発展させ、自立化させたものとしてMEMS協議会に事務局を置いてスタートしました。
その目的は、
 「マイクロナノテクノロジー関連産業発展の中核となる人材を全国規模の統一的な育成過程の下で育成し、以て産業規模の拡大を支え、さらに日本のMEMS産業の国際競争力の強化に資すること。」です。MEMS産業の規模は、2015年に2兆4千億円にも達すると予測されており、その拡大を支えるために必要な要員は4万8千人(現状9千人)と見積もられました(H19年度NEDO委託MEMS人材育成調査)。各企業におけるコアとなる人材をこのプログラムで教育することと、そのコア人材が中心となって各企業内で広がりを持たせることによって、上記の規模の産業発展を支える人材育成を成し遂げようとするものです。
 H22年度から人材育成推進委員会(委員長:前田龍太郎 産総研 集積マイクロシステム研究センター長)をMEMS協議会内に設置し、国内各拠点からの委員と共同でこの人材育成プログラムが実行されています。以下に参加している国内拠点と主な講座を記しておきます。
・産総研 集積マイクロシステム研究センター: ナノインプリントなどの先進製造プロセスの習得や信州大学との連携による社会人大学院コースなど。
・北九州産業学術推進機構(FAIS): 光MEMSに関する基礎講座や特論、試作実習など。
・新産業創造研究機構(兵庫県)(NIRO): 現在、講座再検討中。
・東北MEMSパークコンソーシアム: 東北大によるe-learning、設計・試作実習講座
・マイクロマシンセンター: MEMS講習会、マイクロナノ先端技術交流会、MEMS商品化推進スキル講座、MemsONE実習講座など

 講座は、3つのイノベータを育成することとして組まれています。すなわち、応用開拓が重要であるとの認識からMEMS関連技術をベースにビジネスにつなげるための基本ツールを習得する「システムイノベータ」、デバイス設計のプロである「デバイスイノベータ」、製造プロセスのプロである「プロセスイノベータ」です。MEMSにおいては設計のわかるプロセス屋が必要、逆に、プロセスが分かる設計屋が必要との認識があり、共通に習得すべき講座も設けています。
  
 
(5) マイクロナノ2010 新規展示会ROBOTECHを加え、成長軌道に復帰

 総合イベント マイクロナノ2010を7月28日~30日、東京ビッグサイトにて開催しました。来場者は3日間合計で14,000名を超え(昨年比15%増)、出展小間数も約10%増の349となり、まだまだ厳しい経済環境下、昨年の落ち込みから回復、大変健闘したものと考えています。
 今回は、サービスロボットの製造技術に焦点を当てたROBOTECHを新規に併設展示会としました。多くのマスメディアからも注目され、有望なMEMSアプリケーション分野として、サービスロボットの現実性をアピールすることができました。
 第16回となる国際シンポでは、グリーンイノベーションとMEMS技術の関わりをテーマとし、また、TIA-NMEMSシンポと題して、つくばにおける拠点形成、および、そのためのMEMS協議会活動を紹介しました。2年が経過し、中間評価を迎えるBEANSプロジェクトはセミナーとして、その展望、成果の紹介をしました。いずれも多くの聴講者に参加いただき、総合イベントとしてOne Stopで関連情報や商談の機会を提供することができました。

<ROBOTECH>
 サービスロボットを日常生活に広く導入し、少子高齢化、労働人口の減少に対処することは先進各国における緊急の課題です。ROBOTECHはその実現にキーとなるMEMSデバイス等を集めて、有望なMEMSアプリケーションとしてアピールすることを狙いとしました。
 大学関係や大阪、神奈川を始めとするロボット関係企業からデモゾーンにて実際にロボットの動作や機能を紹介し、多くの注目を集めていました。

<第16回国際マイクロナノテクシンポジウム>
 第16回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムを、マイクロナノ2010の同時開催プログラムのひとつとして、2010年7月28日 13:00-16:15、東京ビッグサイト東5ホール内、特設会場Aにて開催しました。ほぼ満席となる聴講者に参加いただき、また、活発な質疑応答がありました。
 今回は、展示会に回る時間的余裕を考慮して、従来全日を使ったプログラムとしていたのに対して、午後だけのプログラムとし、基調講演も含めて6講演としました。
 テーマは、「アンビエントデバイスが拓くグリーンイノベーション」としました。Gデバイス@BEANSとの関連性があり、注目度の高いセンサーネットワーク関連で海外の国際的な研究機関から最新成果を講演してもらいました。また、東大 情報理工学系研究科 教授であり、MEMS協議会国際交流委員会委員長でもある、下山勲氏に基調講演をお願いしました。なお、従来同様、同時通訳サービスを提供しました。

<TIA-NMEMSシンポジウム>
つくばナノテク拠点の実現を目指す活動の一端を紹介する「TIA-NMEMSシンポジウム」を、同時開催プログラムのひとつとして、7月30日、特設会場にて開催しました。
 つくばナノテク拠点の6つのコア領域の一つでMEMS分野のR&D拠点となる、つくばイノベーションアリーナNMEMS(TIA-NMEMS)は、日本のMEMS産業が今後、国際的な産業競争力を強化するために重要な役割を果たすことを期待されています。
 聴講者数は、展示会開場から30分という時間帯にも関わらず、210席の会場が満席という状態でした。松下経産副大臣や野間口産総研理事長など、すべてが責任ある立場からの講演であり、注目度が高かったと想像されます。産総研 野間口理事長の講演では、類似の海外研究機関との差別化という観点から、IPに関する仕組みの充実に取り組んでいることが紹介されました。そのほかの企業からの講演では、実際に進行しているR&Dプロジェクトがどのように自社の競争力強化と関連するか、大いなる期待が述べられました。

 2011年は、若干時期を早め、7月13日~15日の開催予定です。多くの皆様の出展、ご来場をいただくべく、精力的に準備を進めて参りますので、本年同様、ご支援、ご指導をよろしくお願い申し上げます。
 
  
(6) 海外アフィリエートとの連携を深めつつ国際交流を活発に推進


 国際交流事業としては、国際シンポ開催や海外調査ミッション派遣などビジネス・学術の国際交流を行っています。
 4月19-23日ハノーバーメッセ2010(独・ハノーバー)での展示・発表や4月27-30日第16回マイクロマシンサミット(独・ドルトムント)への参加がありました。いずれもアイスランド火山噴火による航空混乱という厳しい状況下でしたが、MEMS協議会メンバー企業の支援も受け、実現できました。今回のサミットは、高齢化の進む社会をマイクロナノ技術でいかに生活しやすいものにするか、がテーマであり、日本にとっての大きな課題が世界共通であり、多くの取組みと競争のあることが実感できました。
 6月には仏LETI、独フラウンホーファーENASおよびIPMSを訪問し、意見交換してきました。また、8月の韓国におけるNanoKoreaにMMCとして出展し、交流を図りました。
 11月上旬、北米のMEMS産業動向を把握するための調査ミッション(団長:東京大学下山教授)として、7つのMEMS関連会社を訪問し、また、米国MIG主催のMEMS Executive Congressに参加しました。全体の印象としては、加速度センサー等がコンシューマ市場に浸透し、価格低下や競争が激しくなっている中、次の有望市場に向けてベンチャーなどの開発が活発になっていることが実感できました。センサーネットワークや高周波に関連してスマートフォンへの応用、また、価格より性能・機能が重視される医療応用などもありました。北米において、既存の大企業とベンチャー企業が協業や競争をしながらダイナミックに市場開拓している状況がよくわかりました。
 
    
(7) MEMS国際標準化活動の着実な進展

 我が国はMEMSの国際標準化についてIECに対して積極的な活動を行っています。現在、提案中の「共振振動による曲げ疲労加速試験法」、「曲げ・せん断による接着強度試験法」、「曲げ試験法」の審議は順調に進んでいます。
 これらの審議は参加国専門家のメール交換によりすすめられますが、重要な役割を果たすのが定期的な国際会議です。MEMS分野の国際規格はIEC SC47Fという委員会で審議されています。日本はこの委員会の幹事国であり、マイクロマシンセンターが国内審議団体として運営を担っています。昨年は7月初めに中国・西安でアドホックミーティングが、10月初めにアメリカ・シアトルで全体会議が開催され、わが国からそれぞれの会議に専門家を派遣しました。西安会議では日韓中3国による第6回MEMS標準化ワークショップが開催され、今後の動向に関する情報交換が行われました。
 IECでは国際標準化に貢献があった方を、IEC設立を記念した1906賞として表彰していますが、昨年はわが国から熊本大学高島和希教授が受賞されました。
今後提案予定の国際規格としては、「小型ジャイロ」、「電子コンパス」、「MEMS形状計測法」があります。「小型ジャイロ」、「電子コンパス」は2011年に提案すべく準備中です。
 また、国内規格としては我が国よりIECに提案して2009年4月に国際規格として発行された「薄膜材料の軸荷重疲労試験法」が2011年にはJIS規格として発行される見込みです。
 このように、MEMS国際標準化は着実な進展を続けています。
 
  
(8) MMCホームページの充実

 ホームページは、マイクロマシンセンターやBEANS研究所の活動を、広く一般社会にご理解いただく重要なメディアです。このため、従来からコンテンツの充実化を図っており、昨年も以下の拡充をしております。
 
マイクロマシンセンター広報誌、創刊号以降の全巻を掲載
 1992年9月の創刊号から季刊で発行されてきた広報誌「マイクロナノ」、MEMSについて時代のトピックスが分かります。
「マイクロマシン技術の解説」を掲載
 基礎的な技術、接合とマイクロアセンブリ、マイクロ理工学、デバイス技術、マイクロセンサ、微細作業技術、応用分野として医療、マイクロファクトリ、メンテナンスロボットを解説しています。
ブログ「MEMSの波Ⅱ内外クリッピング」の拡充
 会員向けに国内外の記事や文献情報を月毎に提供してきましたが、日々の変化に対応すべくブログとして提供するサービスを開始しました。(マイクロナノ文献抄録は2010年6月で、新聞記事クリッピング情報は2010年12月で更新作業を完了しました)
すべてのMMC発行報告書を電子化(会員向けサービス)
 MMC発足以来発行してきた120部を超える報告書を電子化。賛助会員向けにダウンロードできるように体制を整えました。各報告書には閲覧の助けとなるしおりを付しました。
 
 
  
(9) 情報公開、資料管理及び情報機器等の整備拡充

 平成22年はMMC/BEANSとして、ホームページを通じたより一層の情報公開体制の整備強化を図りました。また資料管理体制の整備や、多用なニーズに応えより高度で複雑な業務に速やかに対応できるような情報機器の整備も併せ行いました。これらを通じて、我が国マイクロマシン/MEMS分野の発展に一層寄与する基盤作りが図れた一年となりました。
1.ホームページを通じた情報公開の整備拡充
 当センターでは、従来からマイクロマシン/MEMS分野の情報公開の一環として、財団法人マイクロマシンセンターのホームページ(http://www.mmc.or.jp)や技術研究組合BEANS研究所のホームページ(http://beanspj.org/lab/index.html)、さらにMEMS協議会のマイクロナノネット等を活用した情報提供活動を積極的に行っています。
 昨年話題になりました「MEMSPedia」の公開、ブログ「MEMSの波(ブログニュース)」、ブログ「BEANS成長ものがたり」及びブログ「BEANSてくのろじぃ」によるリアルタイムでの情報提供に加えて、今年からは、新聞記事クリッピングサービスの充実、広報誌「マイクロナノ」の全号公開、マイクロマシン技術の解説の提供及びこれまでの技術開発成果のPDF化による公開などを通じて、マイクロマシン/MEMS分野及び研究開発成果(研究論文、プレス発表、特許出願等)などを分かり易く一層充実した形で一般に紹介できる体制を整備強化しました。
2.資料管理の効率化等(資料室の整備拡充)
 第2田中ビル3階に資料室として「Mスペース」を設置しました。ここでは、これまで各部で分散管理していた保管資料も含めて資料を効率的に分類管理できる体制を整備しています。また、紙ベースのみではなく、資料のPDF化も併せ進めており、パソコン画面上での資料検索も一層容易になるよう、今後とも情報公開等の整備拡充を図っていきます。
3.パソコンなど情報機器等の整備拡充
 ウインドウス7に対応した情報機器の整備拡充や一般財団法人化を前提とした新経理ソフトの導入などを通じて、多用なニーズに応え、より高度で複雑な業務に速やかに対応できるような執務体制を整備しました。

  
(10) MemsONE version4.0 リリース準備進む

 MemsONE(MEMS用設計・解析支援システム)は平成20年2月にバージョン1.0をリリースし、国内への普及活動を開始しました。その後、“MEMS設計製造工程を強力にサポートする解析ツール”、“MEMSに未習熟な初心者から熟練者までが使えるツール”をキャッチフレーズに普及活動を継続し、今年で3年になります。この間、Ver1.1、Ver2.0、Ver3.0をリリースし、機能の改善・強化および安定化を継続的に図ってきました。
平成23年2月には、解析能力や操作性および利用環境をより向上させたバージョン4.0のリリースを予定しています。このバージョン4.0では、バージョン3.0に対し、次の改善・強化を図っています。

(1)Windows7対応
①推奨スペックを明示してWindows7での利用を可能に
(2)解析機能の改善・強化
 ①弾塑性解析および熱弾塑性解析の大変形問題に接触解析機能を追加
[従来の解析]             [接触解析]
 ②企業から提供されたマルチプロセスエミュレータ用プロセスレシピの組込み
 ③MEMS回路シミュレータの改善・強化
 ・機構解析結果からMEMS素子を生成するマクロモデル抽出機能の追加
 ・剛体平板の節点数の可変化
 ・ギャップ素子のプルイン解析を可能に
 ・エディタ機能の改善とポスト処理機能の強化
(3)解析条件設定機能の改善・強化
 ①機構解析の解析条件設定における材料データベースの参照機能を強化し、マトリクス系データの取り込みを可能に
 ②圧電解析の電気ポテンシャル境界条件に時刻歴テーブルを追加
 ③出力ステップ数と計算ステップ数を一本化
(4)材料データベースの機能強化とデータの充実
 ①指定した材料の特性データが一覧表で一括参照・登録可能な機能に改善
 ②圧電解析に必要な圧電材料の特性データ(特にマトリクス系)を補充
(5)プレ機能の改善・強化
 ①マスプロパティ(面積・体積)計算機能の追加
 ②六面体メッシュ分割の局所細分化設定における使い易さの改善
 ③六面体メッシュ分割の分割数指定の追加
 ④「シェル要素の掃引」コマンドの入力パラメータの継承とデータ数制限の緩和
(6)ポスト機能の改善・強化
 ①解析結果表示における文字が小さくて見辛い問題を解消
 ②デバイスCADでの回転表示状態を解析結果表示に継承
(7)インストール環境整備
 ①インストールステップの削減、障害時メッセ-ジと対処方法メッセージの強化
 ②仮想ドライブRの廃止、P,QはMemsONEが起動中にのみ設定するように改善
(8)ネットワークライセンス機能の追加
 ①契約ライセンス数以内で複数ユーザが同時利用できるライセンス機能の追加
 
 以上の改善・強化により、機能品質および使い勝手が格段に向上し、完成度が高められる予定です。平成23年2月からは、このバージョン4.0による販売・頒布活動を開始し、普及に注力していきます。また、販売・頒布活動と並行して、実習講座や技術交流会などによるユーザ支援を強化して、固定ユーザの拡大と新規ユーザ獲得を図ります。

| | コメント (0)

2011年1月 5日 (水)

第16回 MEMS講習会 「MEMSプロセス技術の最新動向とアプリケーション」ご案内

第16回 MEMS講習会 「MEMSプロセス技術の最新動向とアプリケーション」 ご案内(人材育成プログラム・先端アプリ講座)
  主催 :(財)マイクロマシンセンター ファンドリーサービス委員会
  協力 : 名古屋大学大学院 マイクロ・ナノシステム工学専攻 佐藤研究室

 (財)マイクロマシンセンターでは、MEMS産業の裾野を広げ、その発展を促進するために、人材育成の観点でMEMS講習会を開催しています。今回は、「MEMSプロセス技術の最新動向とアプリケーション」をテーマに基調講演を名古屋大学 佐藤先生に、集積化MEMSの技術動向を豊橋科学技術大学 石田先生に、MEMS赤外線センサの技術動向を立命館大学 木股先生にご講演して頂きます。また開催地(愛知)の企業から主に自動車用MEMSの開発事例を、ファンドリーサービス委員会の企業からMEMSプロセス・設計技術を紹介して頂きます。
◆ 日時:2011年 2月 22日(火) 13:00~17:20~18:30
◆ 場所:名古屋大学 東山キャンパス IB電子情報館 IB-014講義室
http://www.nagoya-u.ac.jp/global-info/access-map/access/

      ◇◇◇◇◇◇◇◇ プ ロ グ ラ ム ◇◇◇◇◇◇◇◇
・13:00~13:05 挨拶(財)マイクロマシンセンター 専務理事  青柳 桂一
・13:05~13:50【基調講演】「マイクロ・ナノ理工学の深化がMEMSの発展を支える」 名古屋大学大学院 工学研究科 マイクロ・ナノシステム工学専攻 教授 佐藤 一雄
・13:50~14:20【特別講演】「MEMS赤外線画像センサの動向と開発事例」
 立命館大学 理工学部 マイクロ機械システム工学科 教授 木股 雅章
・14:20~14:45「車載MEMS応用システムの動向と商品紹介」
 (株)デンソー 基礎研究所 エレ基盤研究3室 室長 竹内 幸裕
・14:45~15:10「車載用MEMSデバイスの動向と開発事例」
 (株)豊田中央研究所 エレクトロニクス研究部 MEMS・センサ研究室 室長 野々村 裕 
・15:10~15:30 ◇休憩◇MEMS協議会ファンドリー委員企業パネル展示、技術相談
・15:30~16:05【特別講演】「集積化MEMS技術によるスマートマイクロチップ」
 豊橋技術科学大学 電気・電子情報工学系 教授 石田 誠              
・16:05~16:25「つくばTIA-NMEMS8インチライン紹介」
 (独)産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター 副センター長 高橋正春 
○ファンドリーサービス委員企業MEMSプロセス・設計技術紹介
・16:25~16:35 「ステルスダイシング技術のMEMS量産への活用」
 オムロン(株) マイクロデバイス事業部 技術部 主査 北岡 正幸      
・16:35~16:45 オリンパス(株) 研究開発センター
・16:45~16:55 「ウェハレベルパッケージング技術」 パナソニック電工(株) 微細プロセス開発センター 技師 長浜 英雄
・16:55~17:05 富士電機システムズ(株) 計測技術センター 武居 正彦
・17:05~17:20「MemsONE による機械-電子回路連成解析」
 (株)数理システム 科学技術部 望月 俊輔
○懇親会
・17:30~18:30 於 工学部7号館B内 七味亭 (IB電子情報館北隣)

------------------  参加申込受付け  -------------------

下記申込欄をコピーして頂き、メール本文中に貼り付け、必要事項をご入力のうえ、ご送信下さい。
又は下記申込欄を印刷して頂き、必要事項をご記入のうえ、FAXして頂いても結構です。 
(受付後、登録通知メールを送付致します。)
会場の都合により定員(60人)になり次第締め切りさせて頂きます。
・申込み締め切り:平成23年2月14日(金)
・申込み用E-mail: mems-ws@mmc.or.jp 申込はこちらのメールアドレスへお願いします)
・TEL :  03-5835-1870
・FAX : 03-5835-1873
 (財)マイクロマシンセンター
 MEMS講習会担当  阪井、酒向

 =========  お申込は下記の申込欄のみをご送信下さい。=========
第16回 MEMS講習会「MEMSプロセス技術の最新動向とアプリケーション」
申込者氏名:
氏名フリガナ:
会社・団体名:
所属部署:
役職:
勤務先住所:
TEL:
E-mail:
参加費(資料代、懇親会費含む、当日現金でお支払いお願いします): 
①一般(5,000円)   ②MEMS協議会メンバー(4,000円) ③学生(2,000円)
どれかを残してください
============================================================

| | コメント (0)

« 2010年12月 | トップページ | 2011年2月 »