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2010年12月

2010年12月21日 (火)

第21回マイクロナノ先端技術交流会を開催します (2011/2/17)

 
第21回 マイクロナノ先端技術交流会
(マイクロナノイノベータ人材育成プログラム・先端アプリ講座)
  主催:財団法人マイクロマシンセンター
 
 財団法人マイクロマシンセンターでは、MEMS産業の裾野を広げ、その発展を促進するために、マイクロナノイノベータ人材育成プログラム事業の一環として、マイクロナノ先端技術交流会を実施しております。これは産学交流を図ることを目的に、毎回大学等において先端的な研究に従事する方々を講師としてお招き、交流の機会を設けようとするものです。今回は昨今の環境・エネルギー問題に対応して「MEMSエネルギーハーベスティング技術の最前線」をテーマに、同分野で著名な東北大学 桑野博喜教授と東京大学 鈴木雄二教授をお迎えして同交流会を開催致します。
 
【開催日時】平成23年2月17日(木) 14:20~17:20~18:30
【開催場所】財団法人マイクロマシンセンター MMCテクノサロン
【プログラム】
14:20~14:30 主催者挨拶
         (財)マイクロマシンセンター 専務理事 青柳 桂一
14:30~15:50 「MEMSエネルギーハーベスティングとその応用」
          東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻・教授
          マイクロ・ナノマシニング研究教育センター長
           桑野 博喜

15:50~16:00 ----- 休憩 ----- 

16:00~17:20  「エネルギーハーベスティングのための超高性能ポリマーエレクトレッを用いた振動型MEMS発電器の開発」
           東京大学・大学院工学系研究科・機械工学専攻・教授
            鈴木 雄二
17:30~18:30 ----- 技術相談及び講師の先生を囲む交流会 (立食形式) -----
           (会場:マイクロマシンセンター本部 会議室)
 
【参加申込】
必要事項をご記入の上、下記の申込先へE-mail又はFAXをお願いします。
 ・参加費用:2000円(MEMS協議会会員) 6000円(一般)
 ・申込及び問合わせ先:(財)マイクロマシンセンター阪井 又は 酒向 まで
 ・申込用E-mail:event@mmc.or.jp
 ・TEL:03-5835-1870 ・FAX:03-5835-1873
 ・申込締切り:平成23年2月10日(金)定員(25人)になり次第
  締め切りさせて頂きます。
 
=========  お申込は下記の申込欄をご送信下さい。=========
 
第21回 マイクロナノ先端技術交流会                  
 
   申込者氏名:
   氏名フリガナ:
   会社・団体名:
   所属部署:
   役職:






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2010年12月16日 (木)

人材育成プログラム MEMS商品化推進スキル講座 開催

 2010年12月15日、マイクロマシンセンター(MMC)テクノサロンにて、マイクロナノイノベータ人材育成プログラムの一環して、MEMS商品化推進スキル講座を実施いたしました。講師はMEMS分野の新事業創生に詳しく関連著作も数多い、(株)テクノインテグレーション代表取締役 出川通氏で、MEMS関連企業を中心に9名の受講者が参加しました。
 
 マイクロナノイノベータ人材育成プログラムは、産総研や国内の産学連携推進組織とネットワークを組み、全国規模で将来のMEMS産業の拡大に対応する人材育成を推進して行こうとするもので、MEMS協議会人材育成推進委員会が実行を担当しています。デバイスイノベータ、プロセスイノベータ、システムイノベータの3つのイノベータを育成するような講座体系になっています。
 
 今回のMEMS商品化推進スキル講座は、MMCが主催したものです。システムイノベータ用の講座で、通常の技術系人材育成プログラムにはあまり見られず、また、MEMS分野に特化したものは他にないと思います。
 
 まず、講義により、技術シーズをビジネスにつなげる際に陥りやすい「魔の川」「死の谷」をどう乗り越えるか、MOTとも絡む重要なツールについて学習しました。成功確率を高めるために、
・顧客ベネフィットで語る
・ニッチマーケティングあるいはテーママーケティング(通常のマスマーケティングではなく)から始める
・プロダクトライフサイクルのどこに着目するか、キャズムに注意
・アライアンスや産学官連携の活用
・ハイテク、ローテクの組み合わせ ・研究から量産化までのステージ分類と各ステージにおける重要事項

 
 また、MEMS分野に特化した海外も含むビジネス化の事例紹介のあと、グループディスカッションによる具体的なケーススタディで、商品化やビジネス化の際に考慮すべき、より具体的な事項について議論しました。意見交換は非常に活発で、受講者の理解は深まったと思います。
 
 講座終了後の懇親会で活発な交流ができたのも受講者にとって収穫でした。新規商品化、事業化における各自の悩みを出し合い、講師や他の受講者からのアドバイスをもらうことができたのも予想外のメリットだったと思います。
 
 この講座は今回、初めての試みでしたが、アンケートでは「非常に満足」がほとんどでした。実務的に役に立つ内容であったとの感想は事務局としてうれしい反応でした。 次回(来年度)講座への皆様のご参加検討をよろしくお願いいたします。(MEMS協議会人材育成推進委員会事務局)
  
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2010年12月14日 (火)

PowerMEMS2010 参加報告

 20101130日~123日にPowerMEMS 2010がベルギー(ルーベン)で開催されました。ホストはImecとルーベン大学で両研究機関ともPowerMEMS分野の代表的な研究機関です。PowerMEMSはエネルギー生成及び貯蔵に関わるMEMSデバイスの国際学会で、本年で第10回を迎えました。昨今の環境・エネルギー問題を受けて本分野の発表件数は年々伸びており、2006年に74件であったのが、本年は175件に増大しました。特に最近は振動、熱など身の回りのわずかなエネルギーから電力を取り出すエネルギー・ハーベスティング技術に注目が集まり、制御回路や応用デバイスを含めると105件が同分野に関するものでした。

 国別の動向を見ると、日本からの積極的な参加が目立ちました。発表件数では米国の40件に次いで日本が20件と多く、また参加人数では全体で250人中、日本が39人で最も多く、次いで米国が35人、地元のベルギーが30人でした。

 研究機関別でみると、特定の研究機関が複数の発表を行う傾向があり、代表はU.C. BerkelyImec、東北大学、東京大学で、それぞれ5件以上の発表をされていました。招待講演として日本からただ一人東京大学の鈴木雄二先生がエレクトレット方式振動発電デバイスというテーマでご講演されました。

 技術分野別ではエネルギー・ハーベスティングの中でも振動発電に関するものが最も多く、さらに振動発電の中でも圧電方式の発表が52件中25件と多く見られました。エネルギー・ハーベスティング以外では、マイクロ燃料電池、マイクロエンジン、マイクロバッテリー等の発表がありました。

 実用化レベルかどうかという観点では、宇宙・航空用途を除いてほとんどが基礎的な研究段階の発表で、発表機関は約8割が大学又は公的研究機関による発表でした。エネルギー・ハーベスティングを例にとると、より高い出力を目指して様々なデバイス構造の提案がありました。また圧電方式やエレクトレット方式の出力はデバイス構造とともに材料物性に依るところが多く、材料組成や材料作製プロセスの開発に関する発表も多く見られました。

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 主な発表を取り上げると、圧電方式振動発電ではCNRS(仏)のGrが、高い出力を備える発電デバイスを発表しました。基本構造は一つのmass4本のカンチレバーで支えて、PZT薄板(200μm)をカンチレバーに接着する構造を特徴とし、出力は0.1g77Hz3.2μW0.2g76Hz13.9μWと低gでは最高レベルの出力を得ました。これまでの開発品と比較して、周波数特性がブロードである点もPRしました。

 EPFL(仏)のGrは、c軸配向されたPZT薄膜をSiカンチレバー上に成長させる技術を応用して振動発電素子を作製し、パワー密度換算で世界最高レベルの出力(230Hz)を得ました。

 一方、エレクトレット振動発電ではオムロンが高出力のデバイスを発表しました。電極構造に工夫を凝らし、寄生容量と出力の関係を明らかにして、最高100μW0.15g30Hz)の出力を得ました。

 東大 鈴木研究室は、ポリマーエレクトレット膜への荷電方法に減圧窒素雰囲気中で200nm以下の紫外光を照射する方法を開発し、荷電時間が12秒で十分な荷電が得られることを見出しました。また同法による荷電は長期安定性を備えることも確認しました。

 ベストポスター賞として東北大学 桑野研究室の発表が選出されました。PZTで構成されたマイクロボックス中にフリーで動くボールを配し、振動によってボールが壁面に当たると発電するしくみです。3次元方向の振動を捉えられるのと、共振型と比較して周波数依存性が少ないことが特徴です。

 以上のように現在は、新たなデバイス構造のアイデアや発電材料の開発によって、出力特性が急速に向上している段階です。対象とするアプリケーションによっては、既に必要な出力を満たしている発電デバイスもあり、本格的な実用化は、そう遠くは無いと感じられました。全体に共通する課題として、最高出力を得たことをPRするために、これまで開発されたデバイスとの特性比較を試みていますが、評価方法が一定でないため、最高であることの判断が難しい点があげられます。今後はデバイス開発とともに、評価方法の標準化も必要と考えられます。

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2010年12月13日 (月)

第2回TIA-NMEMS WG開催される 産総研つくば東 最新設備の見学会も

 2010年12月7日、産総研つくば東事業所にて、第2回TIA-NMEMS WG(委員長:今仲オムロン執行役員常務)が開催されました。企業を中心とする委員と経産省などのオーブザーバー、約30名が参加し、Gデバイス@BEANSや最先端研究支援プログラムによって導入されつつある最新の設備群を実際にクリーンルームに入って間近に見る見学会も含め、現状と今後のあり方について共有化を図りました。
 このWGはつくばナノテク拠点におけるNMEMS分野の拠点形成のあり方や戦略を検討するものです。従来、MEMS協議会の中でオープンイノベーションセンター検討会(のちにマイクロナノ・オープンイノベーションセンター検討会:MNOIC検討会と呼称)としてNMEMS拠点を活用する立場から検討していましたが、その検討会とTIA-NMEMS WGを重ねることで効率よく検討を進めようということで、同時に運営しているものです。
 クリーンルーム見学会では、8インチおよび12インチに対応した最新のエッチング装置や接合装置、アライナー、そのほか、安全面に配慮したユーティリティシステム、実行中の研究テーマなどの説明を受け、これらの設備を活用した新しい研究テーマへの期待が高まりました。
 TIA-NMEMS WGでは、TIA全体でまとめようとしている中期計画にNMEMS拠点としてはどのような内容を出すか、議論しました。また、MNOIC検討会としては、拠点形成のための具体的なフレームとアクション、スケジュールについて議論しました。事務局からの提案に対して当日、あるいは今後の中でいただいた委員からの意見を反映させ、今後、正式なものとしてまとめ上げて、MEMS協議会に上申する予定です。(MNOIC検討会事務局)
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