MEMSの波（ブログニュース）

　2010年12月7日、産総研つくば東事業所にて、第2回TIA-NMEMS WG（委員長：今仲オムロン執行役員常務）が開催されました。企業を中心とする委員と経産省などのオーブザーバー、約30名が参加し、Gデバイス＠BEANSや最先端研究支援プログラムによって導入されつつある最新の設備群を実際にクリーンルームに入って間近に見る見学会も含め、現状と今後のあり方について共有化を図りました。
　このWGはつくばナノテク拠点におけるNMEMS分野の拠点形成のあり方や戦略を検討するものです。従来、MEMS協議会の中でオープンイノベーションセンター検討会（のちにマイクロナノ・オープンイノベーションセンター検討会：MNOIC検討会と呼称）としてNMEMS拠点を活用する立場から検討していましたが、その検討会とTIA-NMEMS WGを重ねることで効率よく検討を進めようということで、同時に運営しているものです。
　クリーンルーム見学会では、8インチおよび12インチに対応した最新のエッチング装置や接合装置、アライナー、そのほか、安全面に配慮したユーティリティシステム、実行中の研究テーマなどの説明を受け、これらの設備を活用した新しい研究テーマへの期待が高まりました。
　TIA-NMEMS WGでは、TIA全体でまとめようとしている中期計画にNMEMS拠点としてはどのような内容を出すか、議論しました。また、MNOIC検討会としては、拠点形成のための具体的なフレームとアクション、スケジュールについて議論しました。事務局からの提案に対して当日、あるいは今後の中でいただいた委員からの意見を反映させ、今後、正式なものとしてまとめ上げて、MEMS協議会に上申する予定です。（MNOIC検討会事務局）