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2010年11月19日 (金)

MEMS設計解析基礎実習を開催(11月18・19日)


 MEMS設計解析基礎実習の第1回を11月18日~19日(2日間)に開催致しました。本実習は、人材育成事業「マイクロナノイノベータ人材育成プログラム」の一環で実施するもので、本プログラムの基礎レベル科目に属するものです。
 
 本実習は、MemsONEを活用し、MEMS設計・製作における構造やプロセスを評価(特性・現象予測など)する基礎的な知識習得を狙いとして、実際にパソコンを使用した実習中心の講習会です。初めての開催のため、参加者の心配をしておりましたが、名古屋や滋賀からの参加もあり、定員5名のところ6名と、第1回目としては盛況でした。内容や時間配分等については、開催結果(アンケートを含む)を踏まえた見直しをして、より充実したものにしていく予定です。
 
 以下に、開催概要と実習風景を示します。尚、次回の第2回は2月17日~18日に開催を予定しています。
  
◆開催日時: 平成22年11月18日(木)-19日(金) 10:00~17:15
◆開催場所: MMCテクノサロン(柴田ビル3階)
◆受講者数: 6名(定員:5名)
◆実習内容: <<一日目>>
   1)MemsONEのメイン操作・CAD操作の基本
   2)MemsONEの解析条件設定~解析結果表示までの操作演習
   3)プロセスエミュレータによるモデル作成の演習
   4)変形解析の演習
        <<二日目>>
   1)プロセス解析:ウェットエッチング解析の演習
   2)サンプルモデルによる各種解析の演習
   3)演習:メッシュや要素次数の相違による解析精度の検証
実習風景



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