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2009年11月

2009年11月25日 (水)

2009年11月25日、台湾ITRIと正式に海外アフィリエート関係を結び、共同のワークショップを東大生産技術研究所にて開催しました

先月、台湾工業技術研究院(ITRI)を訪問してITRIMEMS協議会(MIF)でお互いに海外アフィリエート関係を結び、交流や協業を深めようとの基本合意に達しておりました。本日(1125日)、ITRIMEMS開発拠点であるITRI-South(南分院)からTsai分院長(ITRI副院長)他7名の方々が来日され、合意書への正式調印およびBEANS/MMC/MIFとの共同ワークショップを開催しました。

ITRIは応用研究とその産業化に世界的な強さを持っています。半導体ではTSMCを生み出し、世界的なSiファウンドリに育て上げましたし、MEMSでは大規模ファンドリAPMも立ち上げました。現在は台湾国内のMEMS産業界を組織化し、LSIと同様な成功を狙っています。日本のMEMS産業にとっては様々な側面で協業の可能性があります。研究開発から製造委託まで、緊密な連携が開発スピードを上げ、効果的な商品化を促進すると期待されます。今回の正式調印によって、ITRI-SouthMIFがお互いのネットワークの窓口となり、協業形成のハードルが下がって、実効的な成果が生まれることが期待されます。

ワークショップに先立ち、BEANS実験室の見学ツアーを研究者の協力を得て行いました。いずれも興味深い質疑がされていましたが、特に中性ビームエッチングや超臨界デポジションについてはITRI側の強い関心を呼んだようでした。

共同ワークショップは、東京大学生産研究所セミナー室にBEANS研究者や関係者、30名以上を集めて開催されました。安達BEANS研究所副所長の司会で、BEANS全体のコンセプトを藤田 教授から、Life-BEANSのアウトラインとトピックスを竹内准教授から、3D-BEANSについて杉山准教授から紹介し、また、Life-BEANSおよび3D-BEANSから各々1件ずつの研究成果の紹介をしました。ITRIからは、Tsai分院長自らITRIおよびITRI-Southの紹介をされ、Wu氏からMEMSアプリケーションにおける技術的成果やMEMS産業組織の紹介がありました。

今回は交流の最初のステップです。今後、この関係が発展し、さらに大きな成果につながることを期待しています。
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2009年11月17日 (火)

「MEMS等価回路ジェネレータ」トップページに入りやすくなりました

ちょっとご報告が遅くなりましたが、MMCHPにありますMEMSPediaコンテンツの一つ、「MEMS等価回路ジェネレータ」のトップページに入りやすくなりました。

いままで「MEMS等価回路ジェネレータ」の専用の紹介ページを設けていましたが、MEMSPedia全体の紹介ページの中に集約、1ページ減らした分「MEMSPedia」ボタンからボタン1回で、MMCHPの右下にある「MEMS等価回路ジェネレータ」ボタンからは直接トップページに入れます。

また「MEMS等価回路ジェネレータ」トップページには、「こんなことができます!」などイラストつきのわかりやすい説明を追加してます。「何だかわからないけど面白そう」という方々は、先ずトップページで全体をご覧いただくとわかりやすいかと思います。

疑問点がありましたら、トップページ左の「MEMS等価回路ジェネレータ技術交流掲示板」をご利用いただくか、ファインMEMS事務局までお問い合わせ下さい。

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                       ファインMEMS事務局

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2009年11月16日 (月)

人材育成実証講義「MEMSの設計・シミュレーション技術」参加報告

平成21年度産学連携人材育成事業「マイクロナノ量産技術と応用デバイス製造に関する新事業開拓イノベーション人材育成」の一環として、(独)産業技術総合研究所の主催で長野県岡谷市の「テクノプラザおかや」にて平成21年10月26日に実施された実証講義「MEMSの設計・シミュレーション技術」に参加しました。

講義には諏訪地区から精密機械技術者5名(定員)が参加され、教材として、マイクロマシンセンターと会員ソフトウェアベンダが主体となって開発・実用化したMEMS設計・解析支援システム「MemsONE」が使用され、MEMSデバイスをモデルとした有限要素法による力学解析、プロセス解析、さらには、ナノインプリント解析についての講義が実施されました。参加者の中には、今回初めてCADやシミュレータを体験された技術者もおられ、熱心な質疑応答がなされました。当センターは、この機会に「MesnONE」のPRをさせていただくとともに、来年度から開始するMEMS開発技術者人材育成事業の講座としてのケーススタディを実施しました。

岡谷市は諏訪湖のほとりに位置し、古くから「東洋のスイス」と称されるように時計製造産業のメッカとして超精密機械工業が盛んな地域で、精密機械加工を得意とする企業が集まっており、最近は多様化する企業ニーズと技術革新のスピードに対応する人材育成に注力されています。特に、平成20年度から信州大学の大学院修士課程に超微細加工技術者育成コースが設置され、さらに来年度からは、博士課程に戦力的開発技術者育成コースが開講されることになっていて、この諏訪地区がMEMS・超微細加工技術者育成の新しい拠点になりつつあります。信州大学大学院の技術者育成コースについての詳細は、信州大ホームページに掲載されています。文章中に貼ったリンクを左クリックしてご覧ください。

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実証講義が実施されたテクノプラザおかや

普及促進部@マイクロマシンセンター

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2009年11月11日 (水)

MEMS分野の人材育成ワークショップ報告

 関東経済産業局の産業技術人材育成支援事業(産学人材育成パートナーシップ等プログラム開発・実証事業)として(独)産業技術総合研究所が進めている「マイクロナノ量産技術と応用デバイス製造に関する新事業開拓イノベーション人材育成」の一環として、9月28日の午後、長野県岡谷市の「テクノプラザおかや」で、「地域連携ワークショップin信州」が、地元製造業の経営者、担当者の方々、本人材育成事業の関係者など67名が参加し、開催されました。
 このワークショップは、長野県諏訪地域が精密化工業が盛んであること、信州大学が22年度から総合工学研究科博士課程専門職コースの中でMEMSの研究室を開設することになっていることから、産総研、信州大学、長野県テクノ財団の主催・連携のもとで行なわれたものです。
 ワークショップでは、産業技術総合研究所の前田龍太郎上席研究員が、「マイクロナノ量産技術と応用デバイス製造に関する新事業開拓イノベーション人材育成」の事業全体を説明した後、関東地域、関西地域、九州地域で進めている同事業の講座の例を紹介されました。
 マイクロマシンセンターからは、本人材育成事業について、各地域コンソーシアム・公設試・大学と連携して各地域の特色を活かしたカリキュラムを体系化して一体的な講座運営を行なう計画を紹介するとともに、休憩時には会場でMEMS用設計・解析支援システム「MemsONE」についてビデオ紹介もいたしました。

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    ワークショップ風景        実証講座のポスター展示

ワークショップの詳細内容については、下の 続きを読む を左クリックしてご覧ください。

(産業交流部@マイクロマシンセンター)

続きを読む "MEMS分野の人材育成ワークショップ報告"

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2009年11月10日 (火)

ISMST2009(上海交通大学)、グリーンMEMS日中連携ミーティング出席報告

ISMST2009(サブタイトル:3rd SJTU-Rits Micro/Nano Science and Technology Symposium 2009)は、東アジア圏にある立命館大学、上海交通大学、ハノイ大学のマイクロナノ関連研究者がお互いの情報交換する場として、各ローケーションを持ち回りで開催するセミクローズなミーティングで、今回は上海交通大学では最大の閔行キャンパスにある微納科学技研究院Research Institute of Micro/Nano Science and Technology)の本部大講義室で平成211019日に開催されました。前日はウェルカムレセプションが開かれましたが、当日は16件の講演と活発な議論が行われました。講演は、日本から5件、ハノイ大から1件、残りは上海交通大学の10件から構成され、朝9:30から18:00までの予定を45分ほど超過する過密スケジュールで行われました。立命館大学の杉山先生は、ファインMEMSプロジェクトについて、その全体スキームから、研究開発課題毎の取り組みと成果を丹念に報告され、技術的な質問や実際に日本での実用化可能性含めた質問や議論がなされました。その他、産総研前田上席研究員のナノインプリント含めたLow Cost Process、豊田工大佐々木先生によるスプレーコーティングによる三次元フォトリソの詳細研究についてなどが報告されました。上海交通大学からの発表は、AFM応用のナノ技術、ナノインプリント、カーボンナノチューブ、MEMSジャイロ、呼気検出センサの基礎研究など広範囲に亘る報告がなされ、新しい研究に関する旺盛な取り組み意欲が感じられました。

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3rd SJTU-Rits Micro/Nano Science and Technology Symposium 2009

 翌日、無錫市の東京大学無錫オフィスでグリーンMEMSに関する日中連携を模索するミーティング(Wuxiミーティング)が産総研前田上席研究員と北京大Haixia(Alice) Zhang教授の発案で、北京大Zhenyu Wang准教授、東大無錫オフィス長Jien LU、オムロン大橋主査、マイクロマシンセンター小池という参加メンバで行われました。北京大Zhang教授とWang准教授は、中国第三の工業都市である無錫市のChina Micro-Nano & Sensor Network Global Innovation Parkの技術アドバイザーをしており、また、北京大学の新規プロジェクトとしてグリーンMEMSに関する研究開発を企画中で、マイクロマシンセンターの企業グループと産総研で検討している産総研ナノテク拠点を中心としたグリーンMEMS製造技術や、オムロンのセンサネットによる電力管理見える化の取り組み説明にに大いに関心を示し、近々に無錫市当局や関連研究者、技術者を交えたセミナー「The Third China & Japan Joint Seminar on Green MEMS and Sensor Network1123日~25日、無錫市)をやろうという結論になりました。ご興味のある方は是非ご参加下さい。

 翌日は、無錫市にあるMEMSIC(フロー方式加速度センサ)無錫事業所を訪問、CEOYang Zhao氏、製造部長のHaidong Liu氏と面談、マイクロマシンセンターの活動に興味を示し、日本のニーズ、顧客経路に関する質問がありました。今後、問い合わせがありましたらお知らせします。

        

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第13回東北CAE懇話会への参加報告

 MemsONEのPRはイベント出展、講演会・セミナー、実習講座などを通じて、大都市圏(東京、京都、大阪など)を中心に実施してきましたが、今後は地方へのPRの必要性ありと認識し、この目的で平成21年10月16日に岩手県宮古市で開催された第13回東北CAE懇話会に参加しました。

東北CAE懇話会の今回のテーマは「金型とCAE」と題し、「東北CAE懇話会」と「INSいわて金型研究会」の合同で開催され、参加者は50名以上ありました。この講演会において、京都大学小寺教授(CAE懇話会副理事長)の講演の中でMemsONEの生い立ちと機能の特徴を紹介して貰い、パンフレットの配布を行いました。また、懇親会において企業や公設試の技術者・研究者、市の関係者の方々と情報交換ができました。CAE懇話会ではCAE技術者を対象とする解析塾を開催しており、教材としてMemsONEが活用されています。この関係で、MemsONEパンフレットの特別展示が許可されました。

シー・エィ・イー(CAE)懇話会は、「コンピュータとネットワークを利用したCAE技術に関する研究および産学官における教育、普及活動を利用者の立場にたって実施し、製品開発、生産活動に従事する不特定多数の市民の社会教育推進を図るとともに、IT時代における技術創生・製品創生に対する知的生産活動の推進を図り、次世代の知的人材育成と国際協力など、広く公益の増進に寄与することを目的とする。さらに、CAEに関連したニュービジネスの創出を積極的に支援し、新規雇用の創出にも協力することとする。」を目的とするNPO法人であり、関西、中部、東北、関東の4地区で活動しています。

 CAE懇話会URL: http://www.cae21.org/

(普及促進部@マイクロマシンセンター)

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2009年11月 9日 (月)

米国MIG主催 MEMS Executive Congressに参加、併せてBSAC、GE Sensing、SVTCを訪問してきました

MEMS Executive Congressは米国MEMS Industry GroupMIG)の主催で年に1回開催されます。今回は1146日の日程でカリフォルニア州ソノマでした。会議の目的は、講演やパネルディスカッション、空き時間のインフォーマルな会話を通して、情報交換、共有化、人的なネットワークを形成することによってMEMS関連産業のビジネスチャンスを拡大することにあります。研究開発に直接というより、事業化をどう促進するかに絞った会議です。

 ソノマでの会議は、デバイスメーカーのfreescale、製造装置メーカーのEVGSTSTegalがスポンサーとなっています。約160人のデバイス、アプリケーション、製造装置、材料関係企業の経営者やマーケティング、営業、開発部門のトップ、大学研究者などが集まり、2つの基調講演と5つのパネルディスカッションにて様々な意見を交わしました。フランスLETI、ベルギーのIMEC、カナダACAMP、ドイツのガラス基板メーカー、台湾APMなど、米国内だけに限らず、国際的な参加者となっています。

基調講演のひとつはNTTドコモ先進技術研究所の楢橋氏の招待講演でした。次世代移動通信(3G→4GRFバンド拡大におけるMEMS技術への要望、ということで、特にパワーアンプやフィルターに関連したRF-MEMSスイッチへの期待が述べられました。MEMSタイプでこそ次世代移動通信の端末を実現できるとの強い期待です。また、BEANS研究所副所長の安達氏がバイオ・医療応用MEMSに関するセッションにパネリストの一人として登場し、BEANS-PJの概要、日本の現状、米国やヨーロッパとの違い、将来への期待など様々な視点から印象深い意見を述べ、強い関心を集めていました。その他、環境やエネルギー、自動車、コンシューマーエレクトロニクスへの応用に関するパネルディスカッションがありました。

最後のパネルディスカッションはマーケット予想でした。GartneriSuppliYole他のマーケットサーベイの紹介と、いつ市況は回復するか、次のキラーアプリは何かなどの意見交換がありました。まだあまり整理できていませんが、いくつかのトピックを上げると、

    有望なMEMS分野は、RF-MEMSSi-microphoneMOEMS(除、DMD)、microbolometer

    DMDやインクジェットを除けば、MEMS全体として現状が大体6,000-7,000億円の市場規模で、2009年1Qで底を打っている。

    加速度センサーはほぼ飽和しつつある。

    なぜ台湾TSMCMEMSの市場規模は小さいにもかかわらずMEMSをやっているか、についての答えは、今後、TSVが広がり半導体そのものへの応用が見込めるため。

    パッケージからテストまでのコストが全体の6570%を占める。

    8インチ化が進行しており、そこまで投資できないところは苦しい。今後はパートナーシップの成否が鍵となる。

    Digital Glassのベンチャーに注目している。

    加速度センサーの市場;$1,700M2012年)19GR(成長レート) Gyroscope$1,500M(同上)18GR Microfluidics diagnosis$1,400M 33%GR

    製造装置市場は2011年に回復が明確になるだろう。

    ファウンドリの市場予測;$500M(2009)$900M(2012)

    デバイスを売るのではなく、機能を売る。つまりソフトウエアが重要になる。

    STS+SPP+AVIZASPPTS SPP Process Technology System

    新規にMEMSに置き換わる率が75%、かつ最低コストが最もありうるシナリオ。

MEMS業界全体としては、圧力センサーのタイヤ装着が進み、また、携帯端末やゲーム、デジタルカメラなどへの加速度センサーやジャイロスコープの応用が拡大する中、複数のセンサーをセンサーネットワークとして応用し、事業化するアプローチが模索されています。センサーネットワークは環境、エネルギー、バイオ、自動車など幅広い分野で期待されており、その実現には、発電、自律的(Autonomous)なセンサー同士の無線通信などが必要で、この部分での競争が激しくなると予想されます。狭い私見ですが、発電についてはあまり日本国内での研究活動が活発という印象がなく、対応が急がれると思います。研究開発体制の面からは、特に携帯やゲームなどへの応用において、プロトタイプを試作するにしても、必ず、センサー自体のオペレーションとユーザーインターフェースの2つのカテゴリーでソフトウエアの開発をすることになり、どこまで開発リソースをカバーするか、検討が必要であると感じました。

Mec_sonoma091106会場のソノマロッジ

Mec091105keynote NTTドコモ楢橋氏による基調講演

Mec_panel091105 BEANS安達副所長が登場したパネル

以上がMEMS Executive Congressに関する報告ですが、以下、併せて訪問したBSACGE SensingSVTCに関する簡単な報告も載せます。

1、BSACBerkeley Sensor and Actuator Center113日)

初日のBSACとのミーティングは、私自身が初めてということもあって新鮮で興味深いものでした。BSAC Exrcutive Director John Huggins教授が相手をしてくれました。BEANS研究所副所長 安達氏のBEANS概要および最新成果のアップデートをセミナーという形で開催しました。おそらく1-2日前の予告にも関わらず、Pisano教授や約50人のポスドクやPhDを集めて非常に盛況でした。Huggins氏自身もBEANSには高い興味を持っている、と話していました。

BSAC自体はナノファブセンターの設備整備を進めてまして、今回は20年ごとのかなり大きな更新です。会員団体数は45から39に減ったそうですが、元々競争的資金が予算の8割を占めているのでそれほど会費の減はそれほど影響ないようでした。全体で150人の研究者に対して100を越えるテーマがあるので、ほぼ一人一テーマとなります。ナノファブセンターは18ヶ月後に稼動する目標でいるようです。現在は要素的なデバイス試作が精々ですが、その後はテーマの組み方にも変化が出るかもしれません。

Bsac091103 BSACにおける安達氏の講演

2、GE Sensing & Instrument Technologies(11月4日)

 GE Sensing & TechnologiesGEグループの中で、インフラ事業を中心にセンサーを開発、提供するFremontを中心拠点とする会社です。GE Global Research Centerと連携して研究、開発を進め、大量生産やパッケージングはタイや韓国のグループ会社と協業しながら事業を展開しています。1985年ころから事業を開始し、NovaSensorなどを買収しながら、非常に数多くの製品を開発、製造しています。

 インフラ中心のデバイスを強みとし、ファンドリーも手がけるなど、事業分野、形態は日本のオムロンと似ていると感じました。数多くの製品を高い品質で保ちながら生産していること、米国にて前工程の生産を継続していることなど、採算の合わない事業には厳しいGEグループの中で事業継続できるコスト体質は驚きです。

3、SVTC(11月4日)

 自らの製品はもたない、純粋なファンドリーとしてのSVTCに関して今回の訪問で印象深かったのは、ビジネスモデルをIMECと比較していることです。いわゆるMore Than Mooreが開発対象であり、顧客が開発要員をSVTCに派遣して自らSVTCの装置を使いながら開発するHands-on Accessも含める、製造装置ベンダーの装置を置かせて協業する、など、研究から製品化までのどこに注力するか、は異なりますが、ビジネスモデルとしてIMECを上げるのは確かに納得できます。顧客として自ら開発・生産する大企業もありますが、これに対しては、製品化されたデバイスは顧客自身が生産し、変革するデバイスをSVTCが開発するという分業モデルです。最近は経営を安定化させるキラーアプリとしてメディカルやディフェンス向けが出たことを上げていました。

(国際交流担当 片白)

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