MEMSの波（ブログニュース）

先月、台湾工業技術研究院（ITRI）を訪問してITRIとMEMS協議会（MIF）でお互いに海外アフィリエート関係を結び、交流や協業を深めようとの基本合意に達しておりました。本日（11月25日）、ITRIのMEMS開発拠点であるITRI-South（南分院）からTsai分院長（ITRI副院長）他7名の方々が来日され、合意書への正式調印およびBEANS/MMC/MIFとの共同ワークショップを開催しました。

ITRIは応用研究とその産業化に世界的な強さを持っています。半導体ではTSMCを生み出し、世界的なSiファウンドリに育て上げましたし、MEMSでは大規模ファンドリAPMも立ち上げました。現在は台湾国内のMEMS産業界を組織化し、LSIと同様な成功を狙っています。日本のMEMS産業にとっては様々な側面で協業の可能性があります。研究開発から製造委託まで、緊密な連携が開発スピードを上げ、効果的な商品化を促進すると期待されます。今回の正式調印によって、ITRI-SouthとMIFがお互いのネットワークの窓口となり、協業形成のハードルが下がって、実効的な成果が生まれることが期待されます。

ワークショップに先立ち、BEANS実験室の見学ツアーを研究者の協力を得て行いました。いずれも興味深い質疑がされていましたが、特に中性ビームエッチングや超臨界デポジションについてはITRI側の強い関心を呼んだようでした。

共同ワークショップは、東京大学生産研究所セミナー室にBEANS研究者や関係者、30名以上を集めて開催されました。安達BEANS研究所副所長の司会で、BEANS全体のコンセプトを藤田 教授から、Life-BEANSのアウトラインとトピックスを竹内准教授から、３D-BEANSについて杉山准教授から紹介し、また、Life-BEANSおよび３D-BEANSから各々1件ずつの研究成果の紹介をしました。ITRIからは、Tsai分院長自らITRIおよびITRI-Southの紹介をされ、Wu氏からMEMSアプリケーションにおける技術的成果やMEMS産業組織の紹介がありました。

今回は交流の最初のステップです。今後、この関係が発展し、さらに大きな成果につながることを期待しています。