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2009年10月 7日 (水)

MEMSにおける形状計測法に関する標準化事業の開始

 マイクロマシンセンターではMEMSに関する標準化を進めていますが、今年度、経済産業省より受託(神戸大学と共同)して新たな研究開発を開始しました。MEMSの形状計測法に関する標準化です。

 MEMSに限らず物を作るには設計者と製作者の意思疎通が重要です。MEMSの場合、長時間のウェットエッチングや深堀ドライエッチングにより製作する3次元の構造物ですので、その形状(高さ、深さ、幅、テーパー角度、表面粗さ等)の表示・指定が必要ですがその標準はありません。マイクロスケール寸法であるがゆえに、MEMS構造に適した幾何形状の計測法や表示法が確立されていないのです。

 現在予定している実施手順は、まずマイクロスケールの基準試験片を作り、これを各種測定法で計測します。測定法は様々な方法がありますが、操作性や精度等から評価します。この結果の比較より、MEMSに適した形状の表示法と、構造やスケールに適した計測法を選定します。

 本事業は21年度より3年間の研究開発を行い、IEC国際標準の提案を予定しています。本事業の成果は、MEMS製作に携わる関係者、発注者(設計者)と製造者の意思疎通向上等に活用され、デバイス開発期間の短縮や歩留まり向上に寄与すると期待されています。

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