MEMSの波（ブログニュース）

　小型・省電力・高性能・高信頼性の高集積・複合ＭＥＭＳデバイスの製造技術の確立を目的とした「高集積・複合ＭＥＭＳ製造技術開発プロジェクト（ファインＭＥＭＳプロジェクト；FY2006-2008）」が終了しました。産学連携の研究コンソーシアムに対するＮＥＤＯ委託・助成事業として実施されましたが、下山東大教授(PL)と杉山立命館大教授(SPL)による熱心な指導のもとで、かなり質の高い研究成果が出ています。来月開催されるマイクロナノ2009（7/29-31)において最終成果発表会が開催されますので、ここで成果を実感して下さい。
　

　
　財団法人マイクロマシンセンターでは、本プロジェクトの研究開発の成果、内外の学会等で収集した発表論文、技術文献等について体系的にデータベース化を行い、ファインMEMS知識DB として整備しました。さらに、MEMSと電気回路の集積化や多種類のＭＥＭＳの組合せによる集積化に関する研究開発を行い、MEMS等価回路ジェネレータ を開発しました。これらは、基本的にインターネット上で公開することを目標として掲げていましたので、このたび最終成果発表会に先立って公開することにしました。ネット上では、上記の２つのアプリケーションをまとめ、MEMSに関する知識の泉を意味する MEMSPedia（MEMSペディア） と総称して公開しました。この詳細については後日紹介します。
　　　　

（MEMSシステム開発センター＠マイクロマシンセンター）