MEMSの波（ブログニュース）

６月第２週からファインMEMS知識データベースおよびMEMS等価回路ジェネレータを公開しました。ＮＥＤＯ委託・助成事業「高集積・複合MEMS製造技術開発（ファインMEMSプロジェクト（平成１８年度～平成２０年度）」の中で、マイクロマシンセンターでは、高度MEMS開発・製造に係わる研究者・技術者の支援、裾野拡大を図ることを狙いとして、２つのテーマについて開発を行いました。
　

知識データベースは、ファインMEMSプロジェクトに参画した事業者（委託及び助成）の研究開発成果（研究データ、科学的知見、および文献情報）、再委託した大学の研究開発の成果、およびマイクロマシンセンターが国内外の学会等で収集した発表論文、技術文献等を、平成２１年３月末時点で１５００件を超える知識データとして格納しています。
　

また、本プロジェクトに関わる特許情報として、２０００年以降の国内公開特許、米国登録特許、およびＰＣＴ公開特許を調査し、抽出したものをデータベースに実装しました。特に、特許出願件数の多いＭＥＭＳ/半導体の一体形成技術およびＭＥＭＳ/ＭＥＭＳの高集積結合技術については、主要な企業、研究機関の出願動向をまとめた分析資料集を作成し、これらをデータベースに実装してあります。
　

一方、ＭＥＭＳ等価回路ジェネレータは、MEMSと電子回路を等価回路モデルで表現する設計手法です。この手法の確立により、ＭＥＭＳと電気回路の集積化や多種類のＭＥＭＳの組合せによる集積化に関する研究開発が活発化し、製品に関する成功事例も出現する中、MEMS技術者や電子回路技術者のデバイス設計を容易にする新たなアプローチを提案するものです。
　

「ファインMEMSシステム化設計プラットフォームの研究開発（平成１９年度～平成２０年度）」の成果として、今回各種デバイスの等価回路モデルおよび回路シミュレータで利用可能なネットリストを、MEMS等価回路モデルWebLibrary Systemに収納しています。
　

これらの成果は、インターネット上で提供することにより、知識情報、デザイン支援ツール等、様々なオープンコンテンツを搭載した百科事典”MEMSPedia”として、効果的な普及、拡充を図っていきます。

　すでに、日経Tech-on！の最新記事「“MEMSPedia”がネット上に公開」（2009年6月9日付け）でも取り上げられております。是非、ご活用ください。（逆水＠マイクロマシンセンター）