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2009年6月

2009年6月30日 (火)

第18回マイクロナノ先端技術交流会の開催報告 6/24

 第18回マイクロナノ先端技術交流会が、6月24日(水)に、東京大学大学院 須賀唯知 教授 及び東京工業大学大学院 黒澤 実 准教授を講師にして、MMCテクノサロンで開催されました。参加者はMEMS協議会メンバー、一般参加者、及びBEANSプロジェクト関係者を含む19名で、先端技術情報の紹介と活発な質疑が行われました。講演内容は次のとおりです。
 
●東京大学大学院工学系研究科 須賀唯知 教授

  • 講演題目:「低温ウエハ接合」
  • 講演内容:プラズマやイオン照射を用いたウエハの低温接合とその3D実装・MEMSパッケージへの適用の可能性について紹介されました。接合の種類・手法、特に、真空中や大気中での接合、ナノ接合層を用いた接合、それらの 接合メカニズム等について紹介されました。

    東京大学大学院工学系研究科 須賀唯知 教授
 
●東京工業大学大学院総合理工学研究科 黒澤 実 准教授

  • 講演題目:「弾性表面波リニアモータ」
  • 講演内容:古くからのMEMSデバイスである弾性表面波素子を用いたリニアモータについて、その研究の取り掛かりとなった超音波モータから現在に至るまでが紹介されるとともに、高速高精度なマイクロリニアモータとしての今後の展開が紹介されました。

    東京工業大学大学院総合理工学研究科 黒澤 実 准教授
 
 また、講演終了後、講師の須賀教授、黒澤准教授を囲んだ技術相談・交流会がマイクロマシンセンター会議室で行われ、和やかなうちに閉会いたしました。次回の第19回マイクロナノ先端技術交流会は、2009年10月に開催する予定です。(産業交流部@MMC)

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2009年6月23日 (火)

IEC/SC47F/WG1会議及び第5回日韓中MEMS標準化ワークショップ

Photo_6MEMSの国際標準化はIEC/SC47Fで審議されており、その会議が6月17、18日三つのユネスコ世界自然遺産を持つ韓国の済州島で開催されました。又この会議に合せて6月19日第5回日韓中MEMS標準化ワークショップが開催されました。

IEC/SC47F/WG1会議では、韓国提案の「RF-MEMSスイッチ」、「FBARフィルター」、「曲げによる引張特性試験法」、「ウエハ・ツー・ウエハ接合強度試験法」が一部の技術的課題を専門化同士でメール審議、合意の後、CD(委員会原案)の段階から、CDV(投票用委員会原案)に進めることが合意されました。日本から提案しNP(新規業務項目提案)として承認された「共振振動を用いた疲労試験法」は、各国コメントに対する回答意見が受入れられ、それにしたがってCDを作成することになりました。
 
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日韓中MEMS標準化ワークショップでは、日本からは、帝京大学の大和田教授が現在標準を開発中の電子コンパスについて、又、神戸大学の磯野教授が片持ち梁アレイを用いたナノスケールパターニング、加工について講演しました。韓国からは、バルジ試験法と非冷却赤外線センサ(ボロメータ)についての講演がありました。又、中国からは、エレクトロウェッティングについて講演がありました。 (調査研究・標準部@ マイクロマシンセンター)

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賑やかにMEMS協議会メンバー交流会を開催 6/12

 去る6/12 MEMS協議会の推進委員会を開催して、本年度成21年度活動計画を承認。その後ただちに程近いレストラン「あべにう」においてメンバー交流会を実施しました。MEMS協議会の諸活動の理解を深め、MEMS協議会メンバー間の相互交流が行うことを目的として年2回程度開いていますが、今回も和やかにかつ賑やかな雰囲気で懇親・歓談が行われました。

 小さなレストランに60名弱ものメンバーの方が集まって、店内はぎゅうぎゅう状態。しかしコミュニケーションの環境としては抜群です。旧交を温め、親交を深め、そしてMEMS分野の新たなビジネスチャンスを求めて活発に話し合う会場の熱気が肌に伝わってくるような大賑わいでした。これからもメンバー交流会は是非続けていきたいと思います。

 MEMS協議会の推進委員会&メンバー交流会の詳細は、MMC-MIF-BEANSニュース6月号の記事をご参照下さい。(青柳@MMC)

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2009年6月18日 (木)

MemsONEバージョン2.0リリース中

 MemsONEの本格的な普及活動を開始して2年目に入りました。この間、初期バージョンに対する機能の改善・強化を図り、本年2月にバージョン2.0をリリース致しました。バージョン2.0は初期バージョンに対して解析機能が強化され、操作性も向上しています。ホームページ「MemsONEひろば」で詳細をご確認の上、是非ご検討下さい。

 活用の仕方については、実習講座と呼ぶ実際にパソコン上で指導する講習会を開催しておりますので、こちらにもご参加下さい。どなたでも自由に参加することができます。

Systemimage_2

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つくばナノテク拠点の実現に向けて

 今般の補正予算により集中的な施設整備が予定されている「つくばナノテクノロジー拠点」の実現に向け、当該拠点形成の中核的位4名の最高会議メンバー置づけを占める(独)産業技術総合研究所、(独)物質・材料研究機構、筑波大学、さらに産業界代表としての(社)日本経済団体連合の4者の代表で構成される「つくばナノテクノロジー拠点運営最高会議」が6/17経団連会館で開催されました。
  <最高会議メンバー>
   山田 信博(筑波大学学長)
   岸 輝雄(物質・材料研究機構理事長)
   野間口 有(産業技術総合研究所理事長)
   中鉢 良治(日本経済団体連合会産業技術委員会共同委員長)
 
 ここで基本理念について確認等を行うなど、世界的な研究開発拠点形成に向けて最初の一歩を踏み出したといえます。
つくばナノテク拠点のイメージ

 我々MMC/MIFにおいても関係機関と連携しつつ、つくばナノテクノロジー拠点において、N-MEMSに関する世界的な開発拠点が実現できるよう微力ながらも貢献していければと思っています。(MEMS協議会@マイクロマシンセンター)

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2009年6月13日 (土)

MEMSモールへの出展案内

 MEMSモールは、各企業が最新のMEMS関連製品・技術を紹介するサイトです。マイクロマシンセンター/MEMS協議会が運営しています。

 当センターでは例年、マイクロマシン/MEMS展を主催していてビジネス交流の活性化に資しています。これに対してMEMSモールはネット上での総合展示会と言えます。すなわち、MEMSモールを訪れますと、訪問者はいろんなMEMS関連製品・技術に出会え、今後のビジネス展開に大いに役立ちます。当センターが提供を行っているMEMSファンドリーネットMemsONEファインMems知識DB等価回路ジェネレータなどの製品・サービスへの案内板もあります。
 
 昨年10月からMEMSモールの運営を開始し、当初はMEMS協議会メンバーによる出展に限定してきましたが、この4月から一般の企業の方にも出展を開放しました。この機に是非出展もご検討下さい。(普及促進部@マイクロマシンセンター)
 
MEMSモールのサイト
 

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2009年6月12日 (金)

マイクロナノ先端技術交流会 6/24 の開催迫る

 第18回マイクロナノ先端技術交流会 6/24 の開催が間近に迫っています。会場はマイクロマシンセンターのテクノサロン@秋葉原です。まだ席に余裕がありますので、参加ご希望の方はお申し込みをお急ぎ下さい。→申し込み →会場
今までの技術交流会のスナップ 
 マイクロマシンセンターが主催する先端技術交流会は、毎回マイクロナノ分野で活躍中の最先端の研究者を2名づつお招きしてお話を聞き、講演の後は参加者全員で親しく交流する会で、参加料も格安に設定しています。この会がきっかけとなり、産学交流の話が進展し、ビジネスチャンスが広がるようなことになれば、主催者としては大いなる喜びです。
  
 今回は、東京大学 大学院工学系研究科の須賀唯知教授と東京工業大学の黒澤実准教授に講師をお願いして、それぞれ「低温ウエハ接合」と「弾性表面波リニアモータ」の最前線の興味深いお話をしていただきます。ご関心のある方は是非ご参加下さい。(産業交流部@マイクロマシンセンター)
      東京大学 大学院 工学系研究科 須賀唯知 教授   東京工業大学 大学院 黒澤 実 准教授
    

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2009年6月11日 (木)

ファインMEMS知識データベース及びMEMS等価回路ジェネレータの供用開始

6月第2週からファインMEMS知識データベースおよびMEMS等価回路ジェネレータを公開しました。NEDO委託・助成事業「高集積・複合MEMS製造技術開発(ファインMEMSプロジェクト(平成18年度~平成20年度)」の中で、マイクロマシンセンターでは、高度MEMS開発・製造に係わる研究者・技術者の支援、裾野拡大を図ることを狙いとして、2つのテーマについて開発を行いました。
 

ファインMEMS知識データベース知識データベースは、ファインMEMSプロジェクトに参画した事業者(委託及び助成)の研究開発成果(研究データ、科学的知見、および文献情報)、再委託した大学の研究開発の成果、およびマイクロマシンセンターが国内外の学会等で収集した発表論文、技術文献等を、平成21年3月末時点で1500件を超える知識データとして格納しています。
 

また、本プロジェクトに関わる特許情報として、2000年以降の国内公開特許、米国登録特許、およびPCT公開特許を調査し、抽出したものをデータベースに実装しました。特に、特許出願件数の多いMEMS/半導体の一体形成技術およびMEMS/MEMSの高集積結合技術については、主要な企業、研究機関の出願動向をまとめた分析資料集を作成し、これらをデータベースに実装してあります。
 

MEMS等価回路ジェネレータ一方、MEMS等価回路ジェネレータは、MEMSと電子回路を等価回路モデルで表現する設計手法です。この手法の確立により、MEMSと電気回路の集積化や多種類のMEMSの組合せによる集積化に関する研究開発が活発化し、製品に関する成功事例も出現する中、MEMS技術者や電子回路技術者のデバイス設計を容易にする新たなアプローチを提案するものです。
 

「ファインMEMSシステム化設計プラットフォームの研究開発(平成19年度~平成20年度)」の成果として、今回各種デバイスの等価回路モデルおよび回路シミュレータで利用可能なネットリストを、MEMS等価回路モデルWebLibrary Systemに収納しています。
 

これらの成果は、インターネット上で提供することにより、知識情報、デザイン支援ツール等、様々なオープンコンテンツを搭載した百科事典”MEMSPedia”として、効果的な普及、拡充を図っていきます。

 すでに、日経Tech-on!の最新記事「“MEMSPedia”がネット上に公開」(2009年6月9日付け)でも取り上げられております。是非、ご活用ください。(逆水@マイクロマシンセンター)

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第20回マイクロマシン/MEMS展の開催が来月に迫る (7/29-7/31)

 第20回マイクロマシン/MEMS展がいよいよ来月に迫ってきました。本展示会は総合イベントマイクロナノ2009の一環として、下記の通り開催いたします。
 世界最大規模のMEMS、超精密加工・微細加工、ナノテク、バイオに関する国際展示会で、マイクロマシン/MEMS分野の情報収集およびビジネスチャンス獲得の場としてご活用下さい。多くのセミナー、シンポジウムも併催されます。多数のご来場をお待ち申し上げます。(普及促進部@マイクロマシンセンター)

 
● 会  期 2009年7月29日(水)-31(金)午前10時~午後5時
● 会  場 東京ビッグサイト 東5ホール

● 主  催 財団法人マイクロマシンセンター(MMC)
● オーガナイザー メサゴ・メッセフランクフルト株式会社
● 後援(予定) 経済産業省

→ 第20回マイクロマシン/MEMS展公式サイト
→ 総合イベントマイクロナノ2009
   2008年のマイクロマシン/MEMS展の会場風景
      

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2009年6月10日 (水)

ファインMEMSプロジェクトの研究成果: MEMSPedia を早々と公開

 小型・省電力・高性能・高信頼性の高集積・複合MEMSデバイスの製造技術の確立を目的とした「高集積・複合MEMS製造技術開発プロジェクト(ファインMEMSプロジェクト;FY2006-2008)」が終了しました。産学連携の研究コンソーシアムに対するNEDO委託・助成事業として実施されましたが、下山東大教授(PL)と杉山立命館大教授(SPL)による熱心な指導のもとで、かなり質の高い研究成果が出ています。来月開催されるマイクロナノ2009(7/29-31)において最終成果発表会が開催されますので、ここで成果を実感して下さい。
 

 
 財団法人マイクロマシンセンターでは、本プロジェクトの研究開発の成果、内外の学会等で収集した発表論文、技術文献等について体系的にデータベース化を行い、ファインMEMS知識DB として整備しました。さらに、MEMSと電気回路の集積化や多種類のMEMSの組合せによる集積化に関する研究開発を行い、MEMS等価回路ジェネレータ を開発しました。これらは、基本的にインターネット上で公開することを目標として掲げていましたので、このたび最終成果発表会に先立って公開することにしました。ネット上では、上記の2つのアプリケーションをまとめ、MEMSに関する知識の泉を意味する MEMSPedia(MEMSペディア) と総称して公開しました。この詳細については後日紹介します。
    

(MEMSシステム開発センター@マイクロマシンセンター)


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MEMSの波@マイクロマシンセンターの開設

 MEMSの波@マイクロマシンセンターを開設しました。財団法人マイクロマシンセンターは、MEMS産業を支える基盤づくりのための活動に注力しています。

 
  
 すなわちマイクロナノ分野に係る産学官が結集する技術開発プロジェクトを積極的に推進するとともに、併せてこれらの開発技術の成果普及・産業化を促進すべく、2006年にMEMS協議会を立ち上げ、政策提言活動、産業交流・活性化事業などの産業化のための環境整備活動を進めています。

 MEMSの大きな潮流に乗り、豊かな未来に到達できるように、日々の努力の積み重ねが大事です。本ブログ「MEMSの波」では、このような財団法人マイクロマシンセンターやMEMS協議会の活動状況を「新しい波」として紹介していきます。(青柳@マイクロマシンセンター)
     

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