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2009年6月23日 (火)

IEC/SC47F/WG1会議及び第5回日韓中MEMS標準化ワークショップ

Photo_6MEMSの国際標準化はIEC/SC47Fで審議されており、その会議が6月17、18日三つのユネスコ世界自然遺産を持つ韓国の済州島で開催されました。又この会議に合せて6月19日第5回日韓中MEMS標準化ワークショップが開催されました。

IEC/SC47F/WG1会議では、韓国提案の「RF-MEMSスイッチ」、「FBARフィルター」、「曲げによる引張特性試験法」、「ウエハ・ツー・ウエハ接合強度試験法」が一部の技術的課題を専門化同士でメール審議、合意の後、CD(委員会原案)の段階から、CDV(投票用委員会原案)に進めることが合意されました。日本から提案しNP(新規業務項目提案)として承認された「共振振動を用いた疲労試験法」は、各国コメントに対する回答意見が受入れられ、それにしたがってCDを作成することになりました。
 
 2_6

日韓中MEMS標準化ワークショップでは、日本からは、帝京大学の大和田教授が現在標準を開発中の電子コンパスについて、又、神戸大学の磯野教授が片持ち梁アレイを用いたナノスケールパターニング、加工について講演しました。韓国からは、バルジ試験法と非冷却赤外線センサ(ボロメータ)についての講演がありました。又、中国からは、エレクトロウェッティングについて講演がありました。 (調査研究・標準部@ マイクロマシンセンター)

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