2023年1月 6日 (金)

新年のご挨拶(MMC/NMEMS 2022年10大ニュース)

 新年あけましておめでとうございます。
 本年もMEMS・スマートセンシング技術の開発や普及に真摯に取り組み、国の目指す Society5.0 の実現に向けて微力ながらも貢献してまいりますので、引き続きご指導、ご鞭撻の程、よろしくお願い申し上げます。

 昨年は1月にマイクロマシンセンターの創立30周年を迎え、MEMSの過去30年を振り返るとともに、今後20年の展望をいたしました。それに従い、DX、GXの流れも踏まえつつ、新たなプロジェクトの模索などを行ってきましたが、コロナ禍もなかなか終息を見ず、ロシアによるウクライナ侵攻や急速な為替変動など、我々を取り巻く環境は引き続き厳しいものがあり、その道筋は容易なものではありませんでした。
 それでも、JEITAが12月に発表した「電子情報産業の世界生産見通し」によれば、2023年の世界生産は3.5兆ドルを超え、過去最高を更新する見通しとなっています。この明るい兆しのもと、当センターは今年もDX、GXの推進に不可欠な各種MEMSセンサの開発の一環として、非侵襲で血中成分を計測するBaMBIプロジェクトや、小型原子時計の基礎研究であるHS-ULPACプロジェクトなどを推進するとともに、「環境調和型MEMS(EfriM)」のインフラ・防災分野等への適用や、ウェルビーイング社会の実現に資する「感情・共感センシングシステム」などの新プロジェクト化を目指してまいります。
 一方、昨年秋から当センターはこれまでの経済産業省産業機械課様に代わって情報産業課様の所管法人となりましたので、半導体の一部としてのMEMS(半導体全体の3~4%と規模は小さいものの)という新たな認識にも立って、その振興を図ってまいりたいと思います。当センターの有するMEMSミニファンドリーとしてのMNOIC(マイクロナノ・オープンイノベーションセンター)においても、MEMSの研究支援や工程受託などを継続して行いつつも、我が国半導体業界再興の末端を担うべく、最先端の設計・製造技術を磨いていく所存です。

 さて、当センターでは通算33回目にあたるマイクロナノ分野の展示会である「MEMSセンシング&ネットワークシステム展2023」を2月1日から3日にかけて東京ビッグサイトで開催いたします。今回もセンターの活動紹介、MNOICの紹介、研究開発報告とともに、各種セミナーを開催し、興味深い様々な技術報告を行います。セミナーの冒頭には新たに所管いただく経済産業省情報産業課長様に半導体戦略関連のご講演をお願いしております。是非、多くの皆様にご来場いただき、今後のMEMSの発展のために当センターに対するご指導・ご支援を賜れれば幸いです。

 皆様方には以下のマイクロマシンセンターの2022年の10大ニュースをご覧いただき、このような私どもの活動状況をご賢察いただければ幸いです。

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マイクロマシンセンター/NMEMS技術研究機構
2022年10大ニュース
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1.2022年1月にMMC創立30周年を迎え、記念誌を発行
(「MEMSの過去30年と今後20年の技術展望」を収載)
 2022年1月23日に当センターは創立30周年を迎えました。毎年MEMS産業を取り巻く各種環境などを取り上げて、産業動向調査報告を行っていますが、昨年は当センター30周年ということもあり、これから益々のMEMS技術・産業の発展に資するため、過去30年を振り返り、この先20年を展望するという形の調査報告書を作成し「30周年記念誌」として3月に刊行し、会員法人の皆様と関係各所に配布いたしました。

2.MEMSセンシング&ネットワークシステム展2022
の中で「MMC創立30周年記念講演会」を開催
(パネルディスカッションに神永氏、江刺氏、下山氏、金丸氏がご登壇)
 2022年1月28日にMEMSセンシング&ネットワークシステム展2022の中でMEMSの過去30年の歴史と今後20年の技術展望をテーマとした創立30周年の記念講演会を開催しました。午前中の第一部では主に学生や若手技術者向けに「TIA-MEMSウィンターセミナー MEMS講習会」を開催するとともに、午後の第二部では、MMC30周年特別企画として、30年の歴史をMEMSなどの微細加工、製造技術の進歩とともに振り返り、未来へ続いていくために必要なことを、産業界、大学、国立研究所を代表する方々による基調講演とパネルディスカッションで展望しました。

3.MNOICの活動
 現行製品の継続した製造や実用化に向けたサンプルの試作などを請負う工程受託の急増に加えて、産総研と連携した研究受託や企業ユーザの研究支援など、将来のMEMS産業活性化に向けた取組み案件も着実に増加しています。2022年MEMS研究開発支援事業は約120件を獲得し堅調に推移しました。
 本年の顧客のご利用傾向としましては人の流れの回復基調を反映してかクリーンルーム立入り利用を含む研究支援コースの新規契約10件を獲得し、利用増加しました。

4.コロナ禍の中もMEMS展を継続して開催
 1月28日から30日の3日間に亘り「MEMSセンシング&ネットワークシステム展」を開催しました。今回で通算32回目の展示会となりました。今回の展示会はセンターが設立30周年を迎えるにあたり、例年通りのセンター、MEMS協議会、MNOIC、技術研究PJのブース展示のほかに、特別展示として今後20年のMEMS技術の展望として、MEMSの応用が期待される12分野と、予測されるMEMSデバイス・技術の展示紹介も行いました。

5.HS-ULPAC、BaMBIを順調に継続
HS-ULPAC
 移動体に搭載可能な高精度原子時計を実現するため、周波数変動要因を根本から解明するとともにプロトタイプを試作して実証・評価しています。MMCでは2022年度は最終評価に向け、
MEMSガスセル、実験室モデル量子部、プロトタイプ真空断熱型量子部の2次試作を行っています。
BaMBI
 2019年に始動した3年間のNEDO委託事業の結果、ステージゲートを通過し、2022年度からは事業化を目的とした株式会社タニタ主導の2年間の助成事業に進んでいます。非侵襲の血糖・脂質のディテクタ開発も順調に推移しています。

6.SNIFを終了
 2019年に始動したNEDO委託事業を2021年10月からオムロン主導の研究開発に切り替え、2022年6月に計画通り小型ウェアラブル計測端末の動作モデルの構築を終え、研究開発を終了しました。今後も医科歯科大学が中心となって、この成果の実用化に向けて、連携先などを募ってまいります。

7.活発なSSN研究会活動により次期プロジェクトの立案が進む
 新規国プロ獲得を目指して、SSN研究会のWG9において「環境調和型MEMS(EfriM : Environment friendly MEMS)」、WG10において「感情センシングPF」活動を推進し、NEDO先導研究や内閣府次期SIPのRFIへの提案を行うとともに、関連技術のブラッシュアップを行って、新規国プロの公募に応募すべく準備を進めています。
 WG9(EfriM-WG)では、2022年度は農業、インフラ、防災に関する3回の応用分野のWGを開催し、2022年度中にNEDO先導研究等への提案を予定しています。
 WG10(感情センシングWG)では、センサーフュージョンによる特徴量抽出アルゴリズム、生体信号による感情推定、脳波・脳活動センサ、共感状態の推定等に取組んでいる研究者をメンバーに迎え、感情センシングプラットフォームの価値、社会実装の実現に向けた枠組み等について議論を進めていきます。

8.国際標準化全体会議開催 及び 新規標準化委託事業の開始
 IEC(国際電気標準会議)/TC47(半導体分野技術委員会)の国際標準化全体会議が、10月31日から11 月4日まで、サンフランシスコのHilton San Francisco Union Square Hotelで開催され、SC47F(MEMS分野)と、TC47/WG7(半導体デバイス エネルギーハーベスタ、エネルギー変換・伝送分野)に関する会議に参加しました。久しぶりの対面会議であったこともあり、各国主査等と会議前後の時間に交流を図ることができ、充実した会議となりました。
 また、経済産業省「令和 4年度省エネルギー 等に関する国際標準の獲得・普及促進事業委託費」に、マイクロマシンセンター、兵庫県立大学、神戸大学と東京大学が共同で提案しました「振動発電エネルギーハーベスタの信頼性評価に関する国際標準化」が採択され、国際規格の開発を開始しました。

9.国際交流活動を徐々に再開
 新型コロナの影響で制限されていた国際交流活動に関しては、マイクロマシンサミットが3年連続で延期になる等、未だ影響は残っていますが、各国の入国制限が緩和され、国際会議もオンライン開催からハイブリッド開催に移行されだして徐々に再開の兆しが見えてきました。
 4月のMEMSエンジニアフォーラムにもMMCとして出展いたしましたし、MMCでも海外アフィリエートであるスペインカタルーニャ州政府貿易投資事務所と連携して、IOT Solution World Congressのアンバサダーになる等国際交流活動を徐々に再開しました。

10.役員改選による新体制始動と経済産業省の所管課が変更
 2022年度は当センター役員の改選期にあたり、理事長を2期4年にわたりお務めいただいたデンソー株式会社元取締役副社長の山中康司様がご退任され、7月に開催しました理事会において、株式会社日立製作所執行役常務の鈴木教洋様が理事長にご就任されました。
 また、当センターは、設立以来経済産業省製造産業局産業機械課の所管団体でありましたが、同省の組織規定類の改正に伴い、商務情報政策局情報産業課の所管団体に変更となり、半導体・デジタル産業戦略の末端を担っていくこととなります。

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2023年1月 5日 (木)

マイクロマシン/MEMS分野関連【経済報告 2023年1月号】

 マイクロマシンセンターでは、マイクロマシン/MEMS分野を取り巻く経済・政策動向のトピックを、いろいろな観点からとらえて発信しています。

 今月号、マイクロマシン/MEMS分野関連 【経済報告 2023年1月号】 をお届けします。
 業務の参考として頂ければ幸いです。

 以下より【経済報告 2023年1月号】PDFをご参照下さい。

 【経済報告 2023年1月号】(「2023_01.pdf」)へアクセス
  (https://mmc.or.jp//info/monthly/economic_report/2023_01.pdf

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2022年12月28日 (水)

MEMS協議会 2022年度MEMS懇話会開催(2022年12月27日)

 MEMS懇話会はMEMS協議会正メンバーの委員と経済産業省など行政側との意見交換を行う大変貴重な場となっております。本年も年末の押し迫った、12月27日にマイクロマシン・MEMS分野に係る今後の課題について、3年連続のWeb会議で意見交換を行いました。

 最初に鈴木教洋MEMS協議会会長(マイクロマシンセンター理事長)による主催者挨拶があり、MMC30周年記念誌を発行したこと、また、MEMS、センサ関連の国家プロジェクトで様々なMEMS技術を研究開発していること、さらに産学連携によるMEMS分野のイノベーション実現の場として設立したMNOICの活動について紹介されました。
 続いて、本年8月からMEMS分野を所管することになった経済産業省情報産業課課長の金指壽様から、半導体基盤技術の中で、今後IoTやエッジデバイスがますます進化することが見込まれることから、その核技術となるMEMSについても、情報産業課が担当することになった経緯や、最近の政策動向である「半導体・デジタル産業戦略の現状と今後」と題して、次世代半導体研究開発プロジェクトの進め方などを丁寧に説明されました(写真1)。

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写真1 経済産業省情報産業課金指壽課長からの最新の政策紹介

 次に、長谷川英一MEMS協議会事務局長(マイクロマシンセンター専務理事)から、産業・研究開発動向報告として、MEMS市場は、2021年136億ドルと前年比で17%増加し、2027年には、222億ドルまで増加すると予測されること、日系センサメーカーのMEMS 出荷額は2021年では1,638億円と5年間で18%増だったことなどが報告されました。

 これらの2つの話題提供の後、経済産業省、NEDO,産総研との意見交換が始まりました。今年度のテーマは「MEMS、センサなどの今後の半導体デバイスの研究開発において、注力すべき研究開発課題と、研究開発を進める上で必要な施策に対する行政・国研への要望」についてです。
 この中で、MEMS協議会推進委員から、2nmの先端ロジック半導体や、SiC、Ga系パワー半導体などの開発を是非推進して頂きたいことや、MEMSは日本が研究開発でリードする分野であり、社会課題解決に資すべく、デバイスとシステムの両輪の研究開発に支援をといった意見が出されました。
 行政側からはポスト5G基金による半導体支援など幅広く事業を行っているが、いずれにおいてもエッジ側のコンピューティング、センシングの重要性については益々高まるものと認識しているなどのコメントがありました。
 
 コロナ感染症拡大に伴いWeb会議開催が主流となり、本方式は会議場所まで移動するためのコストや時間がかからないなどのメリットがありますが、対面会議では、直接対面することで意思疎通がしやすいので、本来であればこのような懇話会は対面で実施したいところです。
 次回からは、議論が活発になった際にも話の内容も聞き取りやすく、参加者それぞれのインターネット環境に依存することもない対面会議で実施できるよう、コロナ収束を願うとともに、新型コロナと共存できるWeb会議運営法を磨いていきたいと思います。

(MEMS協議会 渡辺秀明)

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2022年12月 1日 (木)

マイクロマシン/MEMS分野関連【経済報告 2022年12月号】

 マイクロマシンセンターでは、マイクロマシン/MEMS分野を取り巻く経済・政策動向のトピックを、いろいろな観点からとらえて発信しています。

 今月号、マイクロマシン/MEMS分野関連 【経済報告 2022年12月号】 をお届けします。
 業務の参考として頂ければ幸いです。

 以下より【経済報告 2022年12月号】PDFをご参照下さい。

 【経済報告 2022年12月号】(「2022_12.pdf」)へアクセス
  (https://mmc.or.jp//info/monthly/economic_report/2022_12.pdf

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2022年11月28日 (月)

IEC/TC47 国際標準化全体会議(サンフランシス開催)参加報告(2022年10月31日~11月4日)

 IEC(国際電気標準会議)/TC47(半導体分野技術委員会)の国際標準化全体会議が、10月31日から11 月4日まで、サンフランシスコの Hilton San Francisco Union Square Hotelで開催され、関連する会議に参加しました。

 10月31日には、TC47WG7会議(半導体デバイス エネルギーハーベスタ、エネルギー変換・伝送分野)とSC47F Officer/Convenor会議(MEMS分野)が開催されました。

 TC47WG7会議では、現在審議中の規格案、新規提案等について議論しました。日本からは、本WGの主査を務めておられる東京大学鈴木教授、兵庫県立大学藤田孝之教授、名古屋工業大学泉隼人准教授、近畿大学宍戸信之講師、産総研山本淳先生他、計7名が参加しました。
 鈴木教授が現在提案中のCD(委員会原案、Committee Draft)「低周波・大振幅かつ回転運動を含む振動発電の特性試験方法」について、コメント対応とCDV( 投票用委員会原案、Committee Draft for Vote)提出スケジュールについて説明されました。神戸大学神野伊策教授が現在提案中のCD「衝撃力による振動発電の特性試験方法」について、CD投票終了後のCCファイルが未回付であることを鈴木教授が言及されました。その結果、TC47 Assistant SecretaryからCCファイルを至急回付して頂くことになりました。
 また、今後提案予定の規格を紹介するFuture workでは、鈴木教授と藤田教授が今年度から開発に着手している「振動発電エネルギーハーベスタの信頼性評価に関する国際標準化」の概要及び提案スケジュールを、山本先生が開発している規格案「熱電発電エネルギーハーベスタ」のNP(新業務項目提案、New Work Item Proposal)開発状況を説明されました。
 最後に、来年の本WG春季会議を日本・熊本で5月下旬から6月中旬にSC47Fと同時開催することを鈴木教授が紹介し、了承されました。

 SC47F Officer/Convenor会議では、本SCのアクティビティについて議論しました。 日本からMT1主査をつとめる熊本大学高島和希教授及びWG1主査の先端素材高速開発技術研究組合古田一吉部長、SC47Fの国際幹事をつとめるマイクロマシンセンター三原孝士をはじめとした4名が参加しました。
 会議では、同SCでのNP提案活性化、新規メンバー獲得の取り組み等について議論しました。加えて、熊本で開催予定の来年度春季WG会議でのワークショップの内容について意見を交換しました。

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TC47/WG7会議の様子

 11月1日には、TC47/SC47F/WG1-3&MT1会議(MEMS分野)が開催され、26名(日本6、韓国5、中国10、ドイツ1、米国1、Young Professional 3)が出席し、現在審議中の規格案、新規提案等について議論しました。
 日本の主な参加者は、MT1の主査をつとめる熊本大学高島和希教授及びWG1主査の先端素材高速開発技術研究組合古田一吉部長、プロジェクトリーダー(PL)である近畿大学宍戸信之講師、名古屋工業大学泉隼人准教授、国際幹事をつとめるマイクロマシンセンター三原孝士でした。サンフランシスコに渡航できなかった中国の主査、エキスパートはオンラインで参加しました。
 最初に前回会議の議事録を確認し、承認されました。次いで、三原孝士国際幹事がIEC本部からの連絡事項を説明しました。
 各WGの活動概要をWG主査が紹介した後、現在審議中の規格案についての意見を交換しました。
 日本からは宍戸講師がPLである提案「IEC 62047-43:フレキシブルMEMSデバイスの繰返し曲げ耐久性試験方法」について、CD投票結果の各国コメント対応状況をPLが説明し、次段階であるCDVへ進めることが了承されました。
 他国からは、中国のDacheng Zhang氏がシリコンMEMSに関するCDV3件、韓国のJoon-Shik Park氏がバイオMEMSに関するCD1件、中国のPeng Chunrong氏がMEMS共鳴電界デバイスに関するCDV1件それぞれついて、進捗を報告しました。
 既に成立しているIS(国際規格、International Standard)のメンテナンスを管理するMT1で、事前に調査したIS見直し期限変更について主査の高島教授が説明し、承認されました。
 今後提案予定の規格案を紹介するFuture Worksでは、日本からは、神戸大学神野教授がPLである新規提案「薄膜圧電MEMSの寿命に関する試験方法」について、今年中にNPをIECへ提出する予定であることをマイクロマシンセンター時岡が報告しました。また、名古屋工業大学神谷庄司教授がPLである新規提案「フレキシブルMEMSデバイス耐久性の両方向折り曲げに関わる試験方法」の開発状況を泉准教授が代理で説明しました。
 他国からは、中国のYongzhi Zhao氏がRF-MEMSに関する規格開発、韓国のHak-joo Lee氏がフレキシブル/ストレッチャブルMEMSに関する規格開発それぞれについて、概要を紹介しました。
 その他では、10月31日に開催されたSC47F Officer/Convenor会議の議事内容を、Sung Hoon Choa SC47F議長が説明しました。加えて、来年の本WG春季会議を日本・熊本で5月下旬から6月中旬に開催することをマイクロマシンセンターが提案し、了承されました。

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TC47/SC47F/WG1-3&MT1会議の様子

 11月3、4日には、それぞれTC47/SC47F全体会議、TC47全体会議が開催され、WGおよびSCにおいて決議された内容について各主査及び議長が報告しました。

 今回は3年ぶりに対面で開催したこともあり、予定していた議題全てを円滑に議論できました。加えて、各国主査やPLと会議前後の時間に交流を図ることができ、充実した会議となりました。
 次回の本TC47会議の開催地は未定で、今後ホスト国を募ることになりました。また、日韓中が持ち回りで開催しているTC47/WG7(エネルギーハーベスタ分野)、SC47F(MEMS分野)等の春季合同会議は、来年5月中旬から6月中旬に熊本で開催する予定です。

調査研究・標準部長 時岡 秀忠

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